中古 SEMITOOL SST 421 #9229861 を販売中

SEMITOOL SST 421はSEMITOOLが製造したフォトレジスト装置で、半導体デバイス製造における光リソグラフィなどの基板を効率的に準備するための理想的なソリューションです。このシステムは、4ステーションシングルキャビネット構成を備えており、スループットを向上させるために、4つの6"、8"および12"ラウンドウェハの同時処理を可能にします。システムのモジュール設計により、SEMITOOL Triline/Pilot Resist Filtration Unit （RF-0320）とTriline/Pilot Dispensing Machine （DPT-0320）を統合できます。さらに、SEMITOOL SST-421は、開発前および開発後の幅広いベーキングオプションとプロセスレシピ機能をユーザーに提供します。SST 421は人間工学に基づいた設計で、手動で機械的および自動的に部品を移動させることで、正確で反復可能なバスジオメトリを実現しています。SEMITOOL Accudepthの技術は正確に複数のプロジェクト間の均一なフィルム厚さおよび反復性を保障するために集中および温度に抵抗します。このツールはまた、一貫したレジスト温度データと再現性のための統合循環ヒーターを備えた統合レジスト温度制御アセットを備えています。SST-421は、最大16インチの基板サイズ、シングルコートステップ、リピートなどの多くの機能をユーザーに提供し、物理的なマスクの変更はなく、従来の手動開発タンクや最大効率のために設計された4ポケットタンク、可変サイプ幅と調整可能なピールサイクルなどの複数の開発オプションを提供します。また、自動診断機能も搭載しており、手作業によるメンテナンスの必要がなくなります。SEMITOOL SST 421は、オペレータの時間を節約するように設計されたユニークなデザイン、さまざまなレジストとの互換性など、多くの利点をユーザーに提供します。この装置は、開発前および開発後の幅広いベーキング操作でプロセスの柔軟性を最大限に高め、レジスト温度と濃度を正確に制御することで、優れた再現性と性能をもたらします。さらに、SEMITOOL SST-421は、手動の機械部品と自動可動部品の両方を備えており、化学物質の消費を削減します。したがって、このシステムは、低ボリュームから大容量の実装まで、幅広いプロセスに最適です。