中古 SEMITOOL SST 421 #293765930 を販売中

SEMITOOL SST 421
製造業者
SEMITOOL
モデル
SST 421
ID: 293765930
ウェーハサイズ: 8"
Spray solvent tool, 8".
SEMITOOL SST 421は、最新の半導体製造で高精度を実現するために設計されたフォトレジスト機器です。プラスチック部品、金属部品の幅広い加工が可能で、最高精度、スピード、表面平坦性を実現しています。SEMITOOL SST-421は、高度な自動化と高度なプロセス制御を組み合わせたフル機能のユニットです。それは他のシステムから離れてそれを置く多数の独特な特徴を特色にします。たとえば、独自のProcess Intelligence Machine (PIS)を使用すると、プロセスのパラメータを即座に監視および調整して最適な結果を得ることができます。さらに、このアセットには汎用性の高いマルチタスクツール(MTT)が含まれており、1サイクルで複数のプロセスを実行できます。また、先進的な光学系やロボティクスを採用しています。その光学センシング装置は、高さとプロファイルの正確な非接触測定を提供し、± 10nmの正確さと± 1。5nmの再現性を保証します。精密ロボットは高速かつ正確であり、最高精度の±1µmと最大200ppsのプロセス周波数で部品を処理することができます。SST 421は容易な統合および速い組み立てのために設計されています。直感的なソフトウェアは、システムのスムーズな制御とバージョンだけでなく、簡単なデータロギングとプログラムの変更を可能にします。さらに、このユニットは、さまざまなフィーダとモジュラー部品を備えた汎用性の高い動作用に設計されています。この機能の組み合わせにより、マルチプロセスアプリケーションに適しています。結論として、SST-421は、現代の半導体製造において比類のない精度、速度、表面平坦性を提供する高度なフォトレジストマシンです。その高度な自動化とプロセス制御機能は、柔軟な設計と相まって、最高の精度と効率で部品を処理することができます。
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