中古 SEMITOOL SST 421 #293646950 を販売中

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製造業者
SEMITOOL
モデル
SST 421
ID: 293646950
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 2004
Spray solvent system, 6"-8" 2004 vintage.
SEMITOOL SST 421は、金属やポリマー材料、フォトレジストなど、さまざまな材料をエッチングすることができる信頼性と信頼性の高いドライエッチング装置です。このシステムは、フォトレジストの精密な層をエッチングするために特別に設計されており、エッチング処理を優れた制御を提供します。SEMITOOL SST-421は、強力で制御可能なプラズマソースを使用してエッチング効果を作成します。精密なレイヤーエッチングを実現するために、基材の上にフォトレジストを置き、フォトレジストと基材の間に放電します。この充電された放電はフォトレジストと相互作用し、高い精度と精度でエッチングします。SST 421には、厳密に制御された処理チャンバとプロセス制御ソフトウェアが搭載されており、ユーザーは可能な限り最高レベルのエッチング精度と精度を達成することができます。さらに、このユニットは時間ベースとRFベースの両方のエッチング機能を備えており、エッチング処理をさらに制御できます。SST-421には、高度なロードロックマシンだけでなく、高い再現性と精度でエッチングすることができる特別に設計されたプロセスホルダーも含まれています。これにより、各パーツが均一で一貫性があり、精密で均一なエッチング層が作成されます。また、他のシステムやハードウェアと容易に統合できるため、さまざまな材料を正確にエッチングできます。SEMITOOL SST 421は、フォトレジストを含むエッチング作業に最適なツールで、プロセスを正確かつ正確に制御します。高精度で多種多様なエッチングが可能な信頼性と信頼性の高いエッチングモデルにより、優れたエッチング結果を得ることができます。
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