中古 SEMITOOL SST 421-280 #9351561 を販売中

SEMITOOL SST 421-280は、半導体業界の微細加工プロセスに使用されるフォトレジスト装置です。これは、短いプロセスのサイクルタイムと高いプロセス品質保証と最小限のオペレータ入力を組み合わせた完全に自動化されたウェットベンチシステムです。直径8インチまでのウェーハ加工に適したユニットで、シリコンから硬化金属まで幅広い基板を加工するためのカセットからカセット基板段までを一体化しています。SEMITOOL SST-421-280には、開発者、エッチング剤、中和剤、除去剤などのプロセス用の8つの試薬があります。モジュラーベースのマシンコントローラで設計されており、設定やプロセスパラメータの迅速な変更を可能にします。このツールは、スピンリンス乾燥やプラズマ処理などの他のプロセスと統合することもできます。さらに、この資産は、温度やサイクル数の監視などの診断の完全なスイートを提供します。SST 421-280には、正確な化学プロセス制御を可能にする自動端点検出モデル（EPD）が装備されています。この装置は、熱段階と写真検出器の両方の利点を組み合わせて、ウェーハの表面抵抗をリアルタイムで監視します。さらに、このシステムは、プロセスのトレーサビリティを可能にするサイクルログとパラメータを記録する光学データロガーを提供します。最後に、このユニットには、単一のウェーハ負荷とアンロードの両方を提供するコンベアとバッチ負荷の機能も装備されています。コンベアはまた、可能な限り最高の歩留まりを確保するために、エッチングおよびアッシングプロセスの前にウェーハの非常に正確な位置決めを可能にします。SST-421-280は、半導体業界の幅広い用途で高いプロセス品質保証と柔軟性を提供するように設計された高度なフォトレジスト機械です。自動化されたエンドポイント検出ツール、コンベア、フルスイートの診断機能により、正確で費用対効果の高い製造プロセスを実現します。