中古 SEMITOOL SST 421-280 #293734246 を販売中

SEMITOOL SST 421-280は、集積回路製造のすべてのウェット処理タスクをサポートするように設計されたフォトレジスト処理装置です。このシステムは、シリコンウェーハ、ヒ素ガリウム、シリコンチップなど、幅広い基板材料を提供します。このユニットは、重要な機能として低温補償を備えたポテンショスタット制御の低電力処理を提供します。SEMITOOL SST-421-280は、マイクロチップコンポーネントシステム用の正確なフォトレジスト処理のためのさまざまな機能を提供します。プレトリートメント、ポストプロセス洗浄、ポストローラーなど、いくつかの精密湿式ステーションがあります。それはまた統合されたプログラム可能な回転速度制御および基質の暖房機械を特色にします。このツールは、2つの異なるキャリアサイズで利用可能な最大24基の基板ロードステーションを備えた柔軟な標準プロセス構成を備えています。アセットには直感的なタッチスクリーン制御モデルがあり、最大128個のレシピを保存でき、最大16個のフォトレジストプロセスを実行できます。SST 421-280はまた、すべてのウェットプロセスに精製水を提供するために逆浸透（RO）を備えています。不規則な温度や化学的流量の場合に自動的に加工ラインをシャットダウンする安全シャットダウン装置を備えています。高品質の処理結果を得るためにオプションのHe 2 O 3 O 2ガス混合システムが装備されています。ユニットは、広範なアラームや安全インターロックを含む、複数の安全機能で設計されています。それは快適な操作のための優秀な人間工学がある容易なアクセス、区分された、および部分的に囲まれた実験室フレームが装備されています。また、積み重ね可能な乾燥ステーションを備え、基板密度を高め、効率的なライン運転を実現しています。SST-421-280はマイクロ電子処理のためのプロセス制御の標準そして規則を満たすように設計されています。スタッキング可能なHEPAフィルターとスクラビングシステムを備えた統合排気ツールを使用して、関連するすべての汚染管理規制を満たしています。この資産はまた、オンラインでのトレーサビリティと各プロセスパラメータの監視を提供し、プロセスを完全に制御します。全体として、SEMITOOL SST 421-280は、マイクロチップ用フォトレジスト処理に最適です。効率的で正確で信頼性の高い処理に必要なすべての機能を備えています。それはマイクロエレクトロニクスの生産およびテストのための理想的な選択です。