中古 SEMITOOL SST 421-280 #293657531 を販売中
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ID: 293657531
ウェーハサイズ: 8"
Spray solvent system, 8"
Rotor
Chamber
Compressed air
Controller
Valves
Sensors
Tubes
Pipes
Process chamber
Tanks
(2) Heated tanks (EKC, NMP or similar)
(2) Unheated tanks (IPA or similar)
(4) Trebor pumps
Rotor, 8"
Bolt quick disconnect
Carrier, P/N: A192-81M-0215
Power supply: 400 V.
SEMITOOL SST 421-280は、半導体ウェーハからフォトレジストを除去するために使用される完全自動フォトレジストストリップ装置です。革新的な技術、高度な機械処理システムを備え、幅広いフォトレジストストリッププロセスに適しています。このシステムは、スループットを向上させ、サイクル時間を短縮し、優れたフォトレジストストリップを生成するように設計されています。SEMITOOL SST-421-280には、ワークスペース内で素早く効率的に移動できる高性能X-Y-Zトランスファーヘッドが装備されています。この高度なロボットアームは、生産ラインに処理するための異なるフォトレジストウエハを選択し、つかみ、配置することができます。また、短期メモリマッピングマシンを使用して、角度付き位置から平面に基板を正確に回転させるために必要な特定のデータを格納することができます。SST 421-280は、最高温度280°Cの強力な加熱ツールを誇り、さまざまな半導体材料を使用した正確で均一なフォトレジストストリッププロセスを提供します。また、ストリップ配列全体にわたって効果的にストリッパーソリューションを管理するように設計された強化された流体管理資産を備えており、最適なストリップ率を維持し、歩留まりを改善します。このモデルには精密な圧力制御機構も含まれており、ウェーハ間の適切な接触を維持し、一貫したストリップに抵抗するのに役立ちます。オプションのAutoprofilerオプションも利用可能で、ストリップの均一性を監視し、必要に応じてリアルタイム調整を行うことができます。最後に、SST-421-280には直感的なユーザーインターフェイスが付属しており、ユーザーは1つの中央コンソールからプロセスに簡単にアクセス、設定、監視できます。この機器には複数の診断ツールも含まれており、ユーザーはフォトレジストストリップの進行状況を追跡することができます。全体として、SEMITOOL SST 421-280は、均一で信頼性の高い結果を提供するように設計された高度なフォトレジストストリップシステムです。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、強力な加熱機能、精密な制御システムにより、産業用半導体製造環境に最適です。
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