中古 SEMITOOL SST-221 #9229860 を販売中

SEMITOOL SST-221フォトレジスト装置は、さまざまなウェーハ処理ニーズに対応する信頼性の高い高性能ソリューションです。このシステムは、幅広い材料のための均一で反復可能なコーティングの高度を提供します。このユニットには、多数のコーティングヘッド、プログラム可能な電源、厚さと温度コントローラ、およびウェーハからウェーハまで一貫したプロセスを保証する高度なオートメーション機能が含まれています。SST-221は、電子ビーム蒸発源を利用して、ウェーハにフォトレジストを適用します。電子ビーム蒸発は、従来の抵抗加熱技術に比べていくつかの利点があります。これには、均一性の向上、安定性の向上、沈着速度の向上が含まれます。電子ビーム源はコンピュータ制御されており、正確で反復可能なレジスト厚さを可能にします。また、温度制御されたスピンコートとスピン乾燥部分も備えており、最終製品のレジスト厚さを微調整することができます。SEMITOOL SST-221は、強力なオートメーション機能を備えた本番環境に簡単に統合できるように設計されています。SST-221により、さまざまなレシピをプログラムすることができ、ウェーハのバッチごとに同じプロセスを繰り返すことができます。さらに、このツールには最新の安全機能が装備されており、電子ビームソース用のセキュアエンクロージャと完全なアラーム資産が含まれています。SEMITOOL SST-221は、幅広い業界向けの信頼性の高い堅牢なツールであることが証明されています。高精度ウエハ加工に欠かせない、非常に均一で反復可能なフォトレジストコーティングが可能です。このモデルは、自動化された生産ラインに統合されるように設計されており、多くの高度な機能を提供しています。SST-221のフォトレジスト機器を使用すると、ウェーハが最高の精度と精度で処理されることを確認できます。