中古 SEMITOOL SST 2061D #142241 を販売中

SEMITOOL SST 2061Dは、ユーザーが実装されたリソグラフィープロセスを利用できるように設計されたフォトレジスト機器です。コンパクトで堅牢でユーザーフレンドリーなシステムで、高度な微細加工リソグラフィ要件のための幅広いウエハサイズとプロセスに適しています。このユニットは、さまざまな複雑な基板の正確かつ効率的な処理を保証するために、特許取得済みの設計を備えています。また、マルチレジストインテグレーションもサポートしており、柔軟性と幅広いプロセスウィンドウをユーザーに提供します。機械は残留物および粒子形成を減らしながら優秀な端の定義を提供します。SST 2061Dの最大チャンバー容量は363リットルで、最大200mmウェーハに対応できます。ディスペンスツール、光源、温度コントローラを装備しています。キーコンポーネントであるパターンジェネレータは光学チャンバー内に収納され、最大1600 RPMの速度でウェーハを回転させることができます。ウエハはマルチレベルのUltima Goldステージにロードされ、光源にさらされます。低歪みのLambda関数ジェネレータとフォトレジストディスペンスアセットが連携して、正確に定義されたパターンを生成します。このモデルは、オープンチャンバー設計、CleanPlus Technologyのろ過装置、および統合チラーによって制御された安定した基板温度により、フォトレジストプロセス性能を向上させるように設計されています。また、グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えたクリーンルーム型コンピュータコントローラも備えています。SEMITOOL SST 2061Dは、シンプルから複雑まで、幅広いフォトレジストプロセスに適しています。優れたエッジ定義、より良いフィールド境界制御、および低減されたフィーチャーサイズを作成するための高度な技術を提供しています。また、材料の互換性を高めるための低温処理も可能です。全体として、SST 2061Dは、最新の技術を統合して優れたプロセス性能を提供する高度なフォトレジストユニットです。高性能な設計、簡単なユーザーインターフェイス、耐久性のある構造により、望ましいリソグラフィ結果を達成するための強力なツールです。