中古 SEMITOOL SRD #9292751 を販売中

SEMITOOL SRD（スピンリンスドライヤー）は、フォトレジストの除去と交換に使用される自動ウェーハ加工装置です。フォトレジストは、半導体デバイスの製造に使用される光感受性材料で、通常はリソグラフィの後に使用されます。SRDシステムは、プロセスの効率と歩留まりを改善しながら、処理時間とサイクル時間を短縮するように設計されています。SEMITOOL SRDユニットは、スピンリンスステーション、ドライヤステーション、フォトレジストステーション、基板ステージングステーションの4つの異なる部分で構成されています。スピンリンスステーションは、ウェーハをスピンバスに入れ、それを攪拌してフォトレジストを除去します。ドライヤステーションは熱とガスの圧力を組み合わせて、ウェーハ表面から残留液体を迅速かつ安全に除去します。フォトレジストステーションは、次のプロセスステップに新鮮なフォトレジストを適用するために使用されます。最後に、基板ステージングステーションは、プロセス中に基板をマーキング、転送、保管するための囲まれた環境です。SRD機械は非常に調節可能、適応可能、ケイ素およびガリウムのヒ素を含む異なった基質のサイズおよびタイプを、処理できる。さらに、SEMITOOL SRDツールは、工場内の他のシステムに統合されるように設計されており、部品はできるだけ効率的に製造プロセス全体を移動することができます。スピンリンス操作やドライヤーを含むプロセス全体の自動化により、プロセスを通じてウェーハを迅速に移動させることができ、高品質な結果を提供します。SRDアセットは使いやすく、プロセスをカスタマイズするための幅広い機能を提供します。たとえば、SEMITOOL SRDは、ウエハ径、スピード、スピン角度、スプレーの種類など、特定の製品要件やプロセス設定に合わせてカスタマイズでき、ユーザーは特定のアプリケーションのプロセスを最適化できます。SRDの自動化により、オペレータの関与の要件も低減し、モデルを工場内の他のシステムと統合することができます。結論として、SEMITOOL SRDは、サイクルとプロセス時間を短縮しながら、プロセスの効率と歩留まりを向上させるように設計された汎用性の高い自動フォトレジスト機器です。ユーザーが特定のアプリケーションのプロセスをカスタマイズできるさまざまな機能を提供し、既存のウェーハ処理システムに簡単に統合できます。