中古 SEMITOOL SRD #9292696 を販売中

SEMITOOL SRDは、ウェーハ、ディスク、およびその他のフラットパネルエレクトロニクスを含む基板の化学機械研磨または化学機械平面化（CMP）に使用されるフォトレジスト機器です。プロセスチャンバー、研磨パッド、研磨ディスクなどを一体化したコンパクトなシステムです。このユニットは、シリコン、ヒ素ガリウム、炭化ケイ素、ポリイミドなどのさまざまな材料を処理できます。SRDには自動ウェーハハンドリングマシンがあり、レシピベースのプログラミングにより高度なプロセス制御が可能です。ウェーハサイズは8〜300mmで、プロセスチャンバーの高さは4インチから45インチまで調整可能です。SEMITOOL SRDには、マルチディスクメカニズム（MDM）と平面化プロセスチャンバー（PPC）という2つの主要コンポーネントがあります。MDMは、調整可能な速度を持つマルチディスクアセンブリを使用して、基板上の研磨プロセスを実行します。これには、ダイヤモンドに埋め込まれた柔軟な研磨パッドと、プロセス性能を向上させるために設計されたさまざまな化学製品が含まれます。PPCは、研磨作用が行われる領域です。それはプロセス部屋、ふた、および前およびポスト磨く洗浄システムを含んでいます。さらに、流量、温度、スラリー速度、圧力などのプロセスパラメータを正確に制御します。SRDの主な特徴は、多種多様な基材や化学品向けに最適化できる可変速度研磨です。SEMITOOL SRDには、清潔な研磨環境を維持するための手動洗浄機能と、定期的なメンテナンスのためのウェハクリーニングツールもあります。アセットは分散制御モデルを介して遠隔操作でき、プロセスフローと進捗状況の遠隔追跡と監視が可能です。SRDは、プロセスの柔軟性と高度なプロセス異常により、リアルタイムでCMP業界で人気のあるオプションとなっています。装置は欠陥を防ぎ、均一性および制御の高度を提供するように設計されています、一貫した製品品質を保障します。SEMITOOL SRDは、信頼性の高い性能と柔軟なプロセス機能を備えた化学機械研磨システムをお探しの方に最適なオプションです。