中古 SEMITOOL SRD #9198117 を販売中

SEMITOOL SRDは、半導体ウェーハ加工用途の高解像度テストパターンを提供するために設計されたフォトレジスト機器です。3DインターコネクトやMEMSデバイスなどの新興アプリケーションの研究開発に最適です。SRDシステムは最大8インチ（200mm）のウェーハを処理でき、高解像度プロジェクションフォトリソグラフィーユニット、ウェーハステージ、ホットおよびコールドプレート、レジストスピンコーティング/乾燥、ウェーハ加熱/冷却、およびインラインメトロロジーツールを内蔵しています。このマシンは、高度なプロジェクションオプティクスと、ウェーハ露出を行うための電動XYステージに基づいています。プロジェクションオプティクスは調節可能なレンズツールを備えており、プロジェクションリソグラフィとプロジェクションリソグラフィの両方で高解像度のパターンを提供するために調整することができます。この光学系は、0。4ミクロンまでの分解能で露光パターンを生成することができます。SEMITOOL SRDアセットにはレジストスピンコーター/ドライヤモジュールが付属しています。フォトレジスト溶液などの薬品を回転させ、ウェーハ表面を乾燥させて露出させることができます。ウェーハ加熱/冷却モデルを内蔵し、露出時にウェーハを正確に温度制御できます。SRD装置には、プロセスを監視し、高解像度パターンを確保するための高度なインラインメトロロジーツールも含まれています。計測ツールは、光学イメージング、レーザー干渉計、共焦点顕微鏡を使用して、リソグラフィープロセス中の露光パターンを測定および分析します。これらのツールは、より良いプロセス制御を可能にし、SEMITOOL SRDシステムから最高のパフォーマンスを保証するのに役立ちます。SRDは、幅広い半導体ウェーハ処理アプリケーションに対応する汎用性の高い高解像度フォトリソグラフィーユニットです。プロジェクションオプティクス、レジストスピンコーター/ドライヤー、温度制御機、インラインメトロロジーツールはすべて、高精度で詳細なパターンを生成する能力に貢献します。