中古 SEMITOOL SRD-880S #9287266 を販売中

SEMITOOL SRD-880Sは、ウェーハ加工用途向けに設計された先進的なフォトレジスト機器です。このシステムには、高精度のステッパー、ウェットステーション、2つのスピナー、レーザーアライメントユニット、およびUVホットプレートが含まれています。ステッパーは6。5インチのワーキングステージを備えており、8インチのワーキングステージに変更することができます。これにより、最大300mmまでのウェーハサイズが可能になり、低電流および高電流アプリケーション向けのウェーハの高精度アライメントが可能になります。ウェットステーションには、DI水、脱イオン（DI）水、または浄化された水で満たすことができる2つの高架タンクがあります。さらに、有害な液体の容易なクリーンアップおよび処分を可能にする排水口があります。マシン上の2つのスピナーは、迅速かつ効率的なフォトレジスト処理を提供するように構成されています。水平スピナーには、フォトレジストおよびドライプロセスケミストリー用の耐食チャンバーが装備されており、スループットを高速化するために最大600psiのスピン速度を使用しています。垂直スピナーには2つの真空チャンバーがあり、フォトレジストおよびドライプロセスアプリケーションに使用できます。2つのスピナーはまた、より高い精度のために調整可能なバックエッジのアライメントを備えています。SRD-880Sのレーザーアライメントツールは、コーティングおよびエッチング前の精密アライメントに使用されます。このユニットは、高精度のアライメントレーザー、異なるサイズのウェーハ用のフィールドストップタレット、および使用される特定のフォトレジストに適合するように調整できるレーザー波長の範囲を備えています。最後に、この資産には、フォトレジストの迅速な硬化のための高強度の遠紫外線を提供するUVホットプレートが含まれています。このUVホットプレートは、様々なフォトレジスト製剤に対応するために0。37から1。2 ワット/cm2まで調整可能です。さらに、UVホットプレートは、動作中の温度の均一性を維持するように設計されています。全体的に、SEMITOOL SRD-880Sは、高精度のアライメント、クイックスピンレート、および均一なUV硬化を提供する包括的なフォトレジストモデルです。この装置は、低電流および高電流製造動作のウェハ処理アプリケーションに最適です。