中古 SEMITOOL SRD 880F #9192489 を販売中

SEMITOOL SRD 885Fは、幅広い用途に対応できるように設計された最先端のフォトレジスト機器です。産業、消費者、研究環境における洗浄、コーティング、画像処理に最適な汎用性の高いシステムです。高品質で精密なエンジニアリングと高度なプログラミングとオートメーション機能を組み合わせ、プロセスパラメータの精密制御を可能にします。SEMITOOL SRD 880Fは、大容量のデュアルウェーハフィードタレットを搭載し、1回の実行に最大80台のウェーハを搭載しています。4個のソレノイドバルブとプロセスガスパネルを備えており、コーティングプロセスをより正確に制御できます。自動化されたフロントドアで、正面または側面から機械に簡単にアクセスできます。SEMITOOL SRD 885Fには、効率を最適化し、有害な排出を最小限に抑えるように設計された、少量のプロセスチャンバーがあります。また、ウェットクリーンプロセスを自動化し、合計3つのリンスバスを備えており、穏やかで効果的な洗浄を実現しています。SpinとSpray Coaterの両方を使用して最適なコーティング結果を実現し、金型温度を追跡してコーティング性能が経時的に低下しないようにします。SRD 880Fは、高度なマルチパターン露光に対応できる高精度の露出ヘッドを搭載しています。統合されたパターンジェネレータツールを使用すると、複雑なパターンジオメトリを簡単に作成および実行できます。Image Data Base Serverにはすべての画像関連データが整理された形式で保存され、簡単にアクセスできます。SEMITOOL SRDは、サイクルタイムと効率的なリソース使用量を改善するためにプロセスを最適化することで、クラス内のあらゆる資産に匹敵することを880Fします。その汎用性、堅牢な設計、高度なオートメーション機能により、あらゆる産業、消費者、研究環境にとって魅力的なソリューションとなります。