中古 SEMITOOL SRD 880 #9248598 を販売中

SEMITOOL SRD 880 Photoresist Equipmentは、高度な半導体デバイスの処理におけるプロセス制御用に設計された完全統合フォトリソグラフィーシステムです。このユニットは、半導体フォトレジスト加工における精度、再現性、および信頼性のための最も厳しい要件を満たすように設計および構築されています。このマシンは、メンテナンスとチャンバーサービスのためのインテリアへの容易なアクセスを提供するユニークな、2ドア、ロールイン設計のチャンバーが含まれています。プロセスチャンバーには、内蔵のスピン/スプレー工具、複数のアイソレーションバルブ、自動シャッターコントローラ、2つのレベルバランスと汚染のないサーフェス、およびモーター付きロードロックが備わっています。このアセットには、スーパークリーンなHEPAフィルタリングエキゾーストモデルと、歩留まりとスループットの両方を最大化するように設計された独立したレシピベースのプロセスコントローラも備えています。フォトレジスト処理は、スピンスプレー機能を内蔵したSRD 880独自設計のロールインチャンバーで行われます。これにより、スループットを損なうことなく、1つのバッチで複数のウェーハをスピンしてスプレーすることができます。チャンバーにはユニークなアイソレーションバルブ装置があり、プロセスチャンバーを汚染のないようにします。2つのレベルバランスと汚染のない表面により、各ウェーハは同じレベルの露出で処理されます。自動シャッターコントローラは、ウェーハ露出を正確に制御するように設計されています。また、ウェーハ露出の正確かつ再現可能なタイミングを実行することができます。シャッターコントローラはプロセスコントローラと連携して、高レベルのプロセス制御と効率を提供します。プロセスコントローラは、フォトレジスト処理の迅速かつ正確なプログラミングを可能にするレシピベースのユニットです。環境や加工条件が変化しても、ウェーハごとに一貫した結果が得られるように設計されています。プロセスコントローラは完全にプログラム可能で、複数のプロセスとレシピに設定できます。これにより、高収率と高スループットの両方を実現できます。SEMITOOL SRD 880フォトレジストマシンは、高度なフォトリソグラフィープロセスに正確な制御と信頼性の高いパフォーマンスを提供します。統合されたスピン/スプレーツール、複数のアイソレーションバルブ、自動シャッターコントローラ、2つのレベルバランスおよび汚染のない表面、およびレシピベースのプロセスコントローラを備えています。このアセットは、フォトリソグラフィープロセスのコストと時間を削減しながら、半導体デバイス製造歩留まりを改善するのに役立ちます。