中古 SEMITOOL SRD-840S-1-1-E-ML #9279229 を販売中

SEMITOOL SRD-840S-1-1-E-ML Photoresist Equipmentは、先進的なチップ製造のニーズに対応するために設計された最先端のウェーハ処理システムです。ユニットの心臓部は独自のSRD-840S-1-1-E-MLチャンバーであり、チップからチップ、ダイからダイまでのフォトレジストの均一な分配とパターニングを提供するように設計されています。このマシンは、ユーザーが精度と再現性で迅速にウェーハを処理することができます。このツールは、ウェットフォトレジストディスペンスとパターニング機能の両方のために、いつでも最大8つの同時プロセスをホスティングできます。また、プロセスフローコントローラを備えており、必要に応じてプロセスを追加および減算することができます。また、このアセットには高解像度のイメージングサブシステムがあり、ウェーハの各バッチのパターンと均一性を迅速かつ正確に決定できます。SEMITOOL SRD-840S-1-1-E-MLは、フォトレジストのベーキング時間を短縮し、優れたパターニング精度を保持する独自の高いキャビネット温度制御範囲を備えています。また、液面検出装置を搭載しており、汚染を防ぎ、溶剤の使用状況を追跡することができます。また、iMAP （Integrated Movement Accuracy Principle）などの革新的な技術も含まれており、正確さを維持し、動作中の振動を排除するのに役立ちます。このフォトレジストシステムは、ILS （Intelligent Laser Source）を使用して高速な書き込みプロセス、鋭いエッジとオーバーレイエラーのない決定的なパターン、レシピとパターンの拡張ライブラリを提供します。このユニットには、クリーンルームのモーションコントロールとイベントコントロールが内蔵されており、オペレータのクリーンルームでのメンテナンス時間と時間を短縮できます。さらに、SRD-840S-1-1-E-MLには実績のある真空技術と化学管理システムが含まれており、どちらも稼働時間を増加させ、同時に運用コストを削減します。全体的に、SEMITOOL SRD-840S-1-1-E-MLフォトレジストマシンは、チップ製造オペレータが処理時間を短縮し、フォトレジストパターニング精度を向上させ、サイクルタイムを短縮するのに役立ちます。このツールの高性能な機能は、今日の高度なチップ製造市場において半導体加工に不可欠な要素となっています。