中古 SEMITOOL SRD-8300S #9298776 を販売中

SEMITOOL SRD-8300S
製造業者
SEMITOOL
モデル
SRD-8300S
ID: 9298776
ヴィンテージ: 2012
Spin Rinse Dryer (SRD) 2012 vintage.
SEMITOOL SRD-8300Sは、全自動フォトレジスト加工装置です。このシステムは、マイクロエレクトロニクス、薄膜およびその他の関連産業におけるさらなる処理のために、さまざまな基板にフォトレジスト材料の薄い層を堆積するように設計されています。これは、ほとんどの環境で最適なパフォーマンスを得るために、片面および両面フォトレジストプロセスの両方を処理することができます。SRD-8300Sは、正確なコーティング結果、より高い歩留まり、および膜厚の厳密な制御を提供する大量の真空および不活性ガス機能を備えています。SEMITOOL SRD-8300Sは、2つの独立した事前プログラムされたシーケンス制御システムと3 "KSシリーズエッジビードリムーバーを使用して、スピンコーティング工程中にエッジビーズを正確に除去します。このユニットには、3つの標準ロボットアーム構成選択肢と、ユーザーの処理ニーズに合わせたカスタムターンキーソリューションを提供するいくつかのプロセスモジュールオプションも装備されています。SRD-8300Sは、PID温度レベルでオプションのホッパー制御を可能にする完全に調整可能なホッパー機など、いくつかのユニークな機能を提供します。また、プログラム可能な振動プラットフォームと材料プレゼンス監視ツールを備えており、基板上のより正確で均一なコーティング分布を提供し、ユーザーがより一貫したフォトレジストコーティングを得ることができます。さらに、この資産の高度な真空能力と不活性ガス大気は、ボイドを最小限に抑え、材料廃棄物を最小限に抑えるのに役立ちます。SEMITOOL SRD-8300Sはユーザーフレンドリーに設計されており、直感的なインターフェイスにより、すべてのモデルコンポーネントに迅速にアクセスして簡単に制御できます。この機器には、さまざまなデータストレージオプションが付属しており、ユーザーは将来の実行のためにプロセスレシピを保存してリコールすることができます。このシステムは、レジストレシピの自動最適化を可能にするスマートプロセスモジュールのSEMITOOLスイートとも互換性があります。結論として、SRD-8300Sは精密フォトレジスト処理を必要とする企業にとって優れた選択肢です。その高度な機能、堅牢なデザイン、直感的なインターフェイスは、このユニットは、マイクロエレクトロニクスや薄膜業界の厳しい環境のための理想的なツールになります。
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