中古 SEMITOOL SRD-8300S #9272599 を販売中

SEMITOOL SRD-8300Sは、超微細マイクロデバイスの量産用に設計されたフォトレジスト機器です。ウェーハ処理のための高度で効率的で信頼性の高いシステムです。これは、レジスト処理用のシングルフリップオープンチャンバー、ベークプレート、加熱プレート、スプレーノズル、プレスピン/プレベークユニット、およびオプションでウェットベンチを備えた統合されたハイブリッドデザインを備えています。SRD-8300Sは、プロセス全体にわたってウェーハと基板の適切なアライメントを確保するために、ウェーハロープロセスカセットを使用しています。強力なエアベアリングモーターと、安全なアライメントのための真空スピンドルによって駆動されます。また、自動ウェーハハンドリングマシンとロボットアームを搭載し、ウェーハの積み降ろしが容易です。SEMITOOL SRD-8300Sは、新技術のtoallowクリーン、均一で精密なフォトレジストアプリケーションを備えています。低欠陥スプレーモード用の新しい5インチクォーツコーティング窓と、空気噴霧乾燥粒子用の選択可能なポートを備えた新しいマイクロファインイメージレンズを備えています。プロセスのカスタマイズにはユーザーが選択可能なランフレームオプションがあり、その他の機能には手動/自動モードスイッチと自己診断ツールが含まれます。このアセットには、プロセスの均一性と再現性を確保するために、温度と条件を監視する強力なコントローラも組み込まれています。クリティカルパラメータのリアルタイム表示と、PCまたはその他の独自のオートメーション機器とのネットワーキング用の標準RS-232シリアルポートを備えています。また、ユニークなデュアル方向ノズルを備えており、正確で均一なスプレー噴射を可能にします。SRD-8300Sは、高度なウェーハ処理のための信頼性の高い効率的なフォトレジストモデルです。高性能エアベアリングモーター、水晶塗装窓、マイクロファインイメージレンズにより、比類のない均一性と再現性を提供します。さらに、ウエハハンドリングとコントローラの自動化により、プロセスの温度と条件を監視し、プロセスの均一性を確保します。さらに、ユーザーが選択可能なランフレームオプションにより、フォトレジストアプリケーションや超微細マイクロデバイスの量産に最適です。