中古 SEMITOOL SRD-8300 #9289398 を販売中

SEMITOOL SRD-8300
製造業者
SEMITOOL
モデル
SRD-8300
ID: 9289398
ヴィンテージ: 2002
Spin Rinse Dryer (SRD) 2002 vintage.
SEMITOOL SRD-8300は、精密フォトリソグラフィープロセスを容易にするように設計された最先端のフォトレジスト機器です。主に半導体デバイスの製造に使用されます。SRD-8300は、接触および近接アライナー、自動エッジ検出、ウェハフラットネススキャン、キネマティックウェハ操作、コンピュータ制御ウェハハンドリング、レシピ制御のディスペンスとリンス処理、ウェハインプレイス処理、およびクリーンインプレイス(CIP)プロセス監視を特徴としています。また、アルゴンイオンレーザーハウジングユニット、高解像度テレビモニター、ウェーハアライメント用の精密マイクロメータも搭載しています。SEMITOOL SRD-8300は、高度なミクロン分解能ビジョンユニットとCIPユニットを使用して、手動洗浄の量を削減します。拡散、酸化、エッチングなど様々な用途に対応できるモジュラー設計を採用しています。自動化された分配および洗浄プロセスは、フォトレジストおよびその他の化学物質を従来の装置よりも最大50%高速で正確に分配および洗浄することができます。さらに、ウェーハ位置とエッジ位置を自動検出し、ウェーハ処理を自動化します。SRD-8300の柔軟な設計により、複数のユーザーが特定のアプリケーションのアセットを再構成できます。自動化されたルーチンメンテナンスにより、ダウンタイムを最小限に抑え、機器の使用率を向上させ、プロセス効率を向上させます。SEMITOOL SRD-8300の高度な設計には、OSF(オープンソフトウェアフレームワーク)も含まれており、ユーザーはソフトウェアをカスタマイズし、デバイス製造プロジェクトのためのアプリケーションを書くことができます。完全なソリューションには、機器、プロセスサポート、およびユーザーがモデルの機能を最大限に活用できる技術サービスが含まれています。この装置は、化学および高温アプリケーションで優れた性能と耐久性を確保するために過酷な条件でテストされています。さらに、SRD-8300はウェーハと人員を保護するための安全機能を備えています。アラームの自動マシンシャットダウンなどの機能を通じて操作を保護し、ユーザーは品質管理とプロセス制御のための詳細なデータにアクセスできます。SEMITOOL SRD-8300は、さまざまなフォトリソグラフィープロセスに最適なソリューションです。最先端の設計と高度な機能により、生産能力を高めたいデザイナーやエンジニアに最適です。堅牢な機能とパフォーマンス寿命の延長により、SRD-8300は幅広い生産要件において信頼性と費用対効果の高い結果を提供することを約束します。
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