中古 SEMITOOL SRD-470 #293642733 を販売中

SEMITOOL SRD-470は、さまざまな半導体ウェーハの露出、開発、およびクリーンなプロセスのための最先端の性能を提供するように設計された業界をリードするフォトレジスト機器です。リザーババスとパワフルなポンプを組み合わせたSRD-470で、少量の開発者を正確かつ正確に納入し、リンス、フォトレジスト、DI水を製造工程で使用することができます。自動スクラビングシステムにより、ユニットの性能がさらに増幅され、正確な化学供給とウェーハ洗浄が可能になります。SEMITOOL SRD-470は、薄いマイクロサーキットから大規模で複雑なチップまで、さまざまなウェーハジオメトリ、サイズ、および材料を扱うことができます。ユニフォームリンスカバレッジ用のシングルノズルを備えた独立したリンスバスが含まれています。ユニークなプリミックスパルスは、スプラッシングとヘッドスペースエアフローを排除して、リンスデリバリーの均一性を高めます。さらに、SRD-470はウェーハの位置と動きを追跡するインテリジェントビジョンマシンを誇り、ウェーハのスループットと精度の両方を向上させます。SEMITOOL SRD-470はまた、温度、化学濃度、流量などの高精度なパラメータを提供するように設計された完全なピンポイント制御メカニズムを提供し、正確なウェハ生産を保証します。内蔵のサイクルタイマーとタイミングプロファイルのアーカイブにより、プロセスの再現性が向上します。設置温度アラーム、ウェーハジャム検出器、オートパージによる複数のIO応答、サイクルフットバルブ、熱不均衡保護、およびエンドウェーハリンスなどの追加機能により、優れた全体的な信頼性が保証されます。高速で効率的な作業と比類のない精度のために、SRD-470とそのさまざまな機能により、半導体ウェーハ処理アプリケーションに理想的なフォトレジストツールとなります。