中古 SEMITOOL SRD 440 #9223322 を販売中

製造業者
SEMITOOL
モデル
SRD 440
ID: 9223322
ヴィンテージ: 1997
Spin Rinse Dryer (SRD) Model no: 440S31EML Single chamber Maximum rotor substrate diameter: 4" Compliant poly cabinet: FM 4910 Brushless controller: PSC-101 Quick disconnect (QD) rotor: 3" PFA Cassette (A82M0215) Includes: DIW N2 Exhaust Power supply: 120 VAC, 60 Hz 1997 vintage.
SEMITOOL SRD 440は、MEMS、半導体、およびオプトエレクトロニクス業界で使用されるフォトレジスト層を正確に露出、開発、除去するために設計された最先端のフォトレジスト機器です。高度な4ビームコヒーレント可視光源とセンサー、および正確なアライメントとフォーカス制御を可能にするコンピュータ化されたフィードバックシステムを備えています。4つのビームは、露出条件を微調整するための個別の強度制御を備えています。さらに、このソフトウェアには、ユニットがアイドル状態になっているときの自動マスクアライメント用のスクリーンセーバーモードが含まれています。光学ユニットは、レンズ補正の均一性を最大限に高めるフラットフィールドレンズを内蔵しています。フロントパネルのカメラにより、マスクアライメントプロセスを簡単に視覚化できます。SRD 440には、2つの軸と2つのレベルの精密ウェーハ位置決めステージがあり、精度と再現性を保証します。ステージは、ウェーハをフォーカス位置に精密に調整することができ、完成品のラインアップパターンが保証されます。また、最大25個のウェーハを自動的にキャプチャしてロードする独自の自動ウェーハ読み込み機能を備えており、手動処理時間と関連するエラーを削減します。このプラットフォームには自動化されたプロセスセレクタが組み込まれており、迅速でツールの選択と開発時間の計算が可能です。ソフトウェアインターフェイスにより、工場内の他のツールと簡単に統合できます。SEMITOOL SRD 440は、信頼性の高い正確なフォトレジストマシンと簡単なメンテナンスと操作を組み合わせ、ハイエンドの研究および生産環境に最適なフォトレジストツールです。細かい微細加工から大規模生産まで、さまざまなプロセスに対応できます。効率的な操作とユーザーフレンドリーなコントロールにより、このフォトレジスト資産がスループットと品質を向上させることができます。
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