中古 SEMITOOL SRD 270 #9135998 を販売中
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ID: 9135998
ヴィンテージ: 1995
Table-top spin rinse dryer
Controller: PSC-101
Rotor actual balanced fluoroware carrier: 4”,5” and 6“
(4) Bolt rotor assembly
Resistivity probe in drain
220 VAC, 50/60 Hz
1995 vintage.
SEMITOOL SRD 270フォトレジスト装置は、フォトレジスト、PCB、薄膜磁気媒体などの高感度な材料を効率的かつ正確に処理することを可能にする、完全に自動化されたインライン化学ツールです。シングルチャンバー設計により、生産性と費用対効果を最大化すると同時に、より複雑なマルチチャンバーモデルでよく見られる欠陥のリスクを最小限に抑えます。このシステムは、高容量で高圧のデリバリーユニットを備えており、効率的な処理が可能です。また、正確で再現性の高い結果を得るために幅広いソリューションを提供しています。このマシンは、マルチプロセスコントロールセンター、自動化されたプロセスモニタなど、排他的なレベルの制御を備えています。このモニターには、オペレータにあらゆるプロセスの不規則性を警告するリアルタイムセンサーが含まれており、迅速な是正措置が可能です。このツールは、従来の開発と高度なマイクロエッチングプロセスの両方と互換性があり、高精度、より迅速な処理時間、および強化された安全性を提供します。SRD 270は、ウェットエッチングとドライエッチングの両方に加え、ストリッパブルおよびマルチレジストレジストの両方のソリューションを提供します。粒子の蓄積を防ぐ独自のリンス配送アセットを装備し、温度と湿度制御を備えており、連続性と安定性を確保しています。その強力な垂直リフトプラットフォームは、クリーンルーム施設内の要素からの肯定的な分離を維持しながら、処理容器への容易なアクセスを可能にします。このモデルは、通常の重力処理フローに対応しており、正確な計測と幅広い構成と接続の両方を可能にします。また、バリア技術を活用して、クロス汚染を最小限に抑え、メンテナンス時間を短縮します。SEMITOOL SRD 270は最大4つのインラインプロセス容器を収容でき、混合荷重構成に対応して最大効率を高めます。自己トラブルシューティングとエラー報告が可能で、オーサシップとプロセスの最適化を可能にするラインレベルのプログラミングを提供します。SRD 270は、単一の信頼性の高いシステムにおいて並外れた信頼性、再現性、精度、生産性を提供するため、あらゆるフォトレジストプロセッサに最適な機器です。複数の船舶や複雑なプロセスシステムの必要性を排除し、複数のプロセスを管理する能力を備えており、特に大量の作業に適しています。
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