中古 SEMITOOL SRD-2405-3-1-E-ML #9296266 を販売中
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SEMITOOL SRD-2405-3-1-E-MLは、材料のフォトリソグラフィック処理のための完全自動化された装置です。プリント基板(PCB)やその他の半導体デバイスの製造など、中規模から大規模な製造プロセスで使用するために設計されたウェットエッチフォトレジストシステムです。このユニットは、材料を処理するために多数のコンポーネントを組み合わせており、産業加工作業に効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。マシンの中心には、SEMITOOLからのフォトレジストSRD-2405-3-1-E-ML配達とスピンステーションがあります。このモジュールには、材料表面にフォトレジストを噴霧して供給するための回転チャックと内蔵のスプレーヘッドが装備されています。このプロセスにより、フォトレジストを均一にコーティングし、その後の処理を行います。ステーションには換気ツールが内蔵されており、フォトレジストの蒸着を確実にするためにチャックの周りの気流を見直すことができます。アセットには、デュアルチャンバー型デベロッパータンクも含まれています。このタンクには、基板からフォトレジストを開発または除去するのに役立つ開発者ソリューションが含まれています。さらに、このモデルにはデュアルノズルエッチングステーションが装備されています。このステーションには、エッチング薬品用の2つの独立したタンクがあり、エッチング処理の柔軟性を高めることができます。エッチングステーションの一部として、装置に高圧ポンプとノズルを取り付け、材料の効果的なエッチングを可能にします。SEMITOOL SRD-2405-3-1-E-MLには、コンベアとロボットアームシステムも含まれています。これにより、あらかじめ決められた経路に沿った材料の自動移動や、さらなる加工のための基板の位置決めが可能になります。このユニットは、単一の実行で複数の基板を処理することができ、効率的なスループットと品質の結果を提供します。最後に、フォトレジスト回収ツールを搭載し、エッチング時に基板から取り外したフォトレジストを回収、フィルター、保管し、リサイクル、再利用することができます。これは、購入する必要があるフォトレジストの量だけでなく、コストを削減するのに役立ちます。全体として、SRD-2405-3-1-E-MLフォトレジスト資産は、中規模から大規模フォトリソグラフィ事業向けの費用対効果の高い自動化ソリューションです。材料の効率的な加工を容易にするために多くのコンポーネントを提供し、スループットと品質の向上を可能にします。さらに、回収モデルは、購入する必要があるフォトレジストのコストと量を削減するのに役立ちます。
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