中古 SEMITOOL SRD-2405-3-1-E-ML #9139663 を販売中

SEMITOOL SRD-2405-3-1-E-ML Photoresist Equipmentは、半導体製造のために設計された精密で専用のリソグラフィープラットフォームです。このシステムは、先進の深紫外線（DUV）とレーザー加工技術を利用して、フォトレジスト材料の半導体表面へのフォトリソグラフィックエッチングを可能にします。SRD-2405-3-1-E-MLは、半導体製造を最適化するために設計された多くの特殊部品で構成されています。デジタルイメージング技術を駆使した大口径の超微細レンズユニットを採用し、複数のレジスト層の正確な登録とアライメントを可能にするとともに、対象材料に高解像度のパターンを生成できるレーザーソースを搭載しています。このマシンには、フォトリソグラフィープロセス用のウェーハを自動的に配置するロボット支援ウェーハハンドリングツール（RABR）も含まれています。さらに、SEMITOOL SRD-2405-3-1-E-MLは、クリーンな処理環境を維持し、迅速なターンアラウンドタイムを促進するための統合ポンプ資産を備えています。シングルコート、フルコート、多層フォトレジストコーティング、エッチング、リフトオフなど、さまざまなプロセスを実行できます。最後に、このモデルには、包括的なプロセス制御とデータ取得機能を提供する高度なソフトウェアパッケージが装備されています。これにより、生産性が向上し、再現性の高いプロセス結果が得られます。全体として、SRD-2405-3-1-E-MLフォトレジスト装置は、最新の半導体製造の精密要件を満たすように設計された強力で汎用性の高いプラットフォームです。