中古 SEMITOOL SPS-2000 #9284262 を販売中

SEMITOOL SPS-2000は、ウェーハコンディショニング、ドライストリップ、スピンおよびスプレーコーティング操作用に設計された高度なフォトレジスト装置です。このシステムは、半導体ウェーハの化学機械加工における今日の高精度の要件を満たすように設計されています。最大直径6インチまでのウェーハに対応可能で、プログラム可能な基板プロセスコントローラを備えています。このコントローラは最大16のプログラムを実行でき、各プログラムは最大32のセグメントを実行できます。また、カスタムプログラムセグメントとパラメーター調整を提供し、ユーザーは人間の介入を最小限に抑えて基板を処理することができます。さらに、SPS-2000はスプレー操作中にウェーハの停止を検出する機能を持っています。精密スプレーヘッドはSEMITOOL SPS-2000の重要な特徴です。スプレーヘッドは、5軸加工プロセスを使用して作成されたさまざまなサイズのノズルで設計されています。これは均一なフィルムを達成するために望ましいスプレーパターンを作成するのに役立ちます。スプレーヘッドは、手動またはモータ駆動のプロセスで高さと角度に応じてさらに調整可能です。ドライストリップ用途には、SPS-2000は2チャンネル版バブラーを備えたウェットベンチを備えており、脱イオン水の温度と流量を正確に制御します。これにより、ウェーハと接触した際の精密エッチング動作が保証され、コンタクトスキューバパッチやホットプレートによるウェーハへのダメージを受けることなく、望ましい薄膜プロファイルを実現します。また、自動ホットプレート検出機能を備えており、ホットプレートとウェーハとの接触を防ぎ、損傷の可能性を排除します。さらに、SEMITOOL SPS-2000には、2200rpmの速度精度を提供する統合された高速スピンツールが含まれています。デュアルベアリング設計の耐久性のあるモーターハウジングと、バランスの取れた外部ホイールにより、高精度性能を実現しています。アセットにオプションのノイズフィルタを追加することで、環境ノイズを低減し、コーティング動作の精度を向上させることができます。要約すると、SPS-2000は、ユーザーが正確なウエハコンディショニング、ドライストリップ、スピンおよびスプレーコーティングを実行することができ、汎用性と高度なフォトレジストモデルです。それは調節可能で、精密なスプレーヘッド、バブラー装置、スピンヘッドおよびホットプレート防止と共にカスタマイズ可能なプログラムおよび変数を、提供します。これらの理由から、このシステムは信頼性の高い正確なフォトレジストユニットを必要とするメーカーにとって優れた選択肢です。