中古 SEMITOOL Spectrum #9384195 を販売中

SEMITOOL Spectrumは、半導体デバイスの製造における最高レベルの制御を提供するように設計された特殊フォトレジスト機器です。ウェット加工法とドライプロセスの両方を活用して、層の厚さや形状を完全に制御し、超微細集積回路のための非常に複雑な層の生産を可能にします。このユニットは、フォトレジストの反応蒸着（RVD）を利用しています。これは、欠陥が非常に低い厚いフォトレジスト層を生成するために使用できるため、IC生産において非常に有利です。フォトレジスト蒸着プロセスは、2つの主要な段階に分けられ、それぞれが濡れたプロセスまたは乾いたプロセスで実行できます。最初の段階では、フラット基板に希望のフォトレジストがコーティングされ、次にフォトレジストが希望のパターンに変換される第2段階が続きます。Spectrumの有効化技術は、フォトレジスト層の厚さを制御する能力です。蓄積されるフォトレジスト蒸気の量を制御することで、層の厚さを正確に制御することができ、ICを非常に細かい細部で設計することができます。層の厚さはまた異なった厚さの基質の生産を可能にするために調節可能です。さらに、SEMITOOL Spectrumマシンは、フォトレジストの生産に必要な乾燥および湿潤プロセスを管理するための自動制御ツールも提供します。これにより、フォトレジスト層にわたって驚くほど均一な厚さを生産することができ、完成した集積回路の外観を最高レベルで制御できます。フォトレジストプロセスに対するスペクトラムの制御は、従来の方法では不可能だったレイヤーデザインの精度を提供します。このアセットの特徴は、ほんの数秒で詳細な設計が変異することを可能にし、また、迅速にエラーを再現することができるため、量産に最適なモデルとなります。SEMITOOL Spectrumは、乾燥処理と湿式処理の両方の利点を兼ね備えており、驚くべき速度と精度で詳細な集積回路の生産を可能にします。乾式および湿式プロセスの正確な蒸着制御と管理により、従来のフォトレジスト加工では不可能だった精度を実現します。この装置は、高い信頼性と性能を備えた複雑な集積回路の製造に不可欠なツールです。