中古 SEMITOOL Spectrum #9355653 を販売中

SEMITOOL Spectrumは、化学プロセスと物理プロセスの両方を化学蒸着（CVD）と組み合わせて、さまざまな基板上にフォトレジストの平坦で均一な薄膜を作成するように設計されたフォトレジスト機器です。薄膜成膜、平面化、レジスト除去用のオールインワンプラットフォームとして設計されています。このシステムは、無線周波数（RF）プラズマを使用して、最適な抵抗カバレッジ、厚さ、均一性のための化学反応を開始します。スペクトルは、シリコンウェーハ、光学ガラス、ヒ素ガリウム、セラミックスなどの複数の基板に対応するように設計されています。RFプラズマ源に加えて、真空チャンバー、高性能マス搬送装置、プロセス監視および制御システムも備えています。このユニットは、CVDとフォトエッチングの組み合わせを使用して、薄膜フォトレジストを基板上に均一かつ正確に堆積させます。RFプラズマは、表面にフォトレジストの平坦で均一な膜を作り出す化学反応を開始します。プラズマはまた、デバイスの性能に影響を与える可能性のあるボイド、傷、残留物を除去するのに役立ちます。薄膜を塗布すると、基板が平坦化の段階に移り、フィルムが平滑化されます。平面化段階は、表面の残留物や不規則性を除去するためにエッチング処理を利用します。基板は、フォトレジストが硬化する真空チャンバーに配置され、表面に均一で一貫した薄膜が形成されます。その後、基板はレジスト除去の準備ができています。これは、ウェットエッチングまたはレーザーアブレーションで行うことができます。ウェットエッチングは、一連の化学物質を使用して表面からフォトレジストを溶解させます。レーザーアブレーションは、特殊なレーザーを使用して、表面からフォトレジストを優しく蒸発させます。最後に、基板がデバイス製造に適していることを確認するために基板をテストします。これは、デバイスが正常に機能し、デバイスに欠陥がないことを確認するために、デバイスで電気テストを実行することによって行われます。SEMITOOLは、テストに合格したすべてのデバイスが商用使用可能であることを保証します。SEMITOOL Spectrumは高効率で精密なフォトレジストマシンで、高精度のデバイスに均一で一貫した信頼性の高いカバレッジを提供するように設計されています。基板上に均一なフォトレジスト層を必要とするアプリケーションでの使用に最適です。