中古 SEMITOOL Spectrum #9232917 を販売中

SEMITOOL Spectrumは、ユーザーがさまざまなフォトレジスト材料を迅速かつ正確にパターン化できるフォトレジスト機器です。これは、ウェーハの効率的なバッチ処理を可能にする、異なる機能を持つコンポーネントのホストで構成されています。Spectrumは、スループットとガス分散のためのより大きなプロセスチャンバー、より高品質なパターニングのための低温フォトレジスト互換性の向上、開発と堆積物の均一性の制御の強化など、フルスイートの機能を誇っています。プロセスは前処理モジュールから始まります；ここでウェーハを洗浄して前処理します。その後、彼らはフォトレジストでコーティングされています。次に、露出モジュールに移動します。ここでは、ウェーハはプログラムされたパターン化された光源にさらされます。露出後、ウェーハは開発者モジュールに転送されます。これは、露出されたフォトレジストが化学的に発達しており、光反応性化学物質がその種類に応じて硬化または溶解することを可能にしています。フォトレジストを開発した後、ウェハはプラズマエッチングモジュールに転送されます。プラズマを使用して、エッチングモジュールはウェーハ表面から材料を蒸発させます。これにより、パターン化されたフォトレジスト層が形成されます。最後に、モジュールには、ガス、イオン化された粒子、および電気電圧の組み合わせを使用して不要なフォトレジスト残留物を除去するドライエッチモジュールが含まれています。SEMITOOL Spectrumは、基板やフォトマスク材料のさまざまな種類や寸法に対応できます。このシステムには、マスクアライメントのための超精密なLeica™技術と、ウェーハ上の複数の画像の正確な露出技術が搭載されています。さらに、均一な基板とフォトレジストの取り扱い、ウェハへの素早い基板ローディング、低基板の取り扱い角度と真空クランプ技術を提供しています。このフォトレジスト機械はまた非常にプログラム可能、カスタマイズ可能です。実行されたステップのシーケンス、速度の速度、温度範囲、圧力レベル、およびその他の詳細を選択できます。これらのすべての機能により、Spectrumは大量の高精度フォトレジスト処理に最適です。