中古 SEMITOOL Spectrum #9124180 を販売中

SEMITOOL Spectrumは、半導体および集積回路製品のフォトレジスト処理用に設計された装置です。このシステムは、ウェットベンチシステムと社内の専用フォトレジストプロセッサの性能とコストのギャップを埋めるように設計されています。このユニットは、さまざまなアプリケーションに適した機能と機能を幅広く提供しています。スペクトルには、2段バッチオーブンと2つのカスタムデザインのパウダーモジュールが含まれており、バリスタ、炭化水素を含まないトンネル、さらに5cmの追加機能により、精度とスループットが向上します。この機械は39-600°Cの低温範囲、制御された窒素雰囲気を持ち、バッチオーブンの動作ごとに最大20ウェーハを保持できます。このツールは、プログラマブルオプションの選択肢を提供し、顧客は個々のニーズを満たすために資産をカスタマイズすることができます。これには、ソリューションプロファイル、シーケンスごとの設定、in-situ電界チューニング、拡散制御および不揮発性メモリが含まれます。高精度、高温フォトレジストコーティング性能を追求したモデルです。0。5 µmの精度を提供し、ステップサイズの解像度と動的解像度0.02µm設定して、正確なプロセス制御を可能にします。さらに、この装置はウェーハとチャンバー間の温度が0。3°C以下±均一になっています。SEMITOOL Spectrumの機能は、プロセスとチャンバーの診断を含む高度な診断およびメンテナンス機能と予測メンテナンス機能を備えており、ダウンタイムを最小限に抑えることができます。システムも安全を念頭に設計されています。それに有害な材料、圧力および真空の救助システムによる傷害からオペレータを保護する作り付けの連結があります。さらに、ユニットのドキュメンテーションライブラリは、オペレータが問題を診断するためのサポートを提供します。半導体および集積回路製品のフォトレジストを処理するための信頼性の高い効率的な機械です。その機能は、ユーザーにとって非常に費用対効果の高い選択肢となります。