中古 SEMITOOL Spectrum 300 #9384200 を販売中

SEMITOOL Spectrum 300
ID: 9384200
Stepper Wet clean spray processor.
SEMITOOL Spectrum 300は、半導体産業のニーズを満たすように設計されたハイテクなフォトレジスト加工装置です。シリコーンウエハの処理に最適な性能を提供し、自動化されたユーザーフレンドリーな操作を実現します。独自の熱加熱ユニットを搭載し、フォトレジスト加工サイクルの各ステップを精密に調整・微調整できます。このマシンは、プロセッサヘッド、プロセッサチャンバー、コントロールパネルの3つの異なるコンポーネントで構成されています。プロセッサヘッドはユニットの上部に取り付けられ、シリコンウェーハが配置されています。これは、ウェーハをプロセッサチャンバーにロードおよびアンロードするために使用される2つの独立したヘッドで構成されています。プロセッサチャンバーは、Spectrum 300を競合他社とは別に設定するものであり、最も信頼性の高い正確な処理を確保するために多くの設計革新を備えています。プロセッサチャンバーには、フォトレジスト処理サイクルの各ステージを安全かつ効率的に完了させるために必要なすべての要素が含まれています。完全に自動化されたレジスト除去ツールを内蔵しているため、オペレータは最小限の労力で複数のレジストプロセスを簡単にセットアップおよび実行できます。このアセットには、レジスト処理中にチャンバーから揮発性有機化合物(VOC)を排出する強力なポンピングモデルも含まれています。この機器は、コントロールパネルにある直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスによって制御されます。このパネルは、オペレータがシステムのすべてのパラメータにアクセスし、すべてのプロセスパラメータをリアルタイムで監視できるように設計されています。これにより、オペレータは、所望の結果を達成するために必要なプロセス調整を簡単に追跡することができます。SEMITOOL Spectrum 300は、最高レベルの信頼性と性能を確保するために設計およびテストされており、さまざまなフォトレジスト加工アプリケーションでの使用が認められています。独自の熱加熱ユニットと精密デバイスにより、各プロセスのステップの信頼性が保証され、ユーザーは毎回信頼性の高いシリコンウェーハ処理結果に依存することができます。
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