中古 SEMITOOL Sirius #9229812 を販売中

SEMITOOL Siriusは、最も困難な半導体デバイス製造プロセスの要求を満たすように特別に設計されたフォトレジスト機器です。優れた性能、精度、使いやすさを提供するために設計された、自動化されたフル機能のシステムです。シリウスはフォトレジストコーターと開発および表面調整ユニットという2つの異なる要素で構成されています。フォトレジストコーターは、高速噴霧プロセスを通じてウェーハ上で均一で再現性のあるウェットフィルム厚さ処理を実現します。このマシンには複数のディスペンスヘッドが装備されており、ユーザーはニーズに最適なソリューションを選択できます。独自のガス圧力制御ツールを使用しており、プリクリーニングとポストクリーン操作の両方で正確な一貫性、厚さ、およびフィルムの均一性を提供します。開発および表面調整アセットは、特許取得済みの4つの処理モジュールを備えています。デュアルタンクのフォトレジスト開発者がおり、開発プロセスを完全に制御できます。このモデルには、泡の除去攪拌と一貫した均一なフィルムの生産を保証する洗浄モジュールもあります。表面コンディショニングモジュールと組み合わせることで、高品質の精密デバイスを生産するための統合ソリューションを提供します。SEMITOOL Siriusは、高品質のフォトレジストフィルムを製造するための幅広い機能と機能を提供します。その迅速かつ正確な処理時間により、チップメーカーはサイクル時間を短縮した信頼性の高いデバイスを作ることができます。統合された制御システムにより、処理中にウェハの表面地形をより大きな制御できます。また、1回の操作で複数のコーティング材料を管理することができ、包括的なプロセス検証、トラブルシューティング、データログ管理ツールを提供します。全体として、Siriusは最先端の半導体デバイス製造プロセスの広い範囲のための理想的なフォトレジスト機械です。高品質なフォトレジストフィルムの製造において、優れた均一性、精度、および信頼性を提供します。統合されたモジュールと制御により、正確で再現性のある処理が可能になり、製造プロセス中の時間とコストを節約できます。