中古 SEMITOOL Sirius #9192672 を販売中

SEMITOOL Siriusは、半導体リソグラフィの先端技術を提供するために設計された最先端のフォトレジスト機器です。半導体デバイスの製造における薄膜層の加工に特化した機械です。シリウスシステムのユニークな設計と超微細なエンジニアリングにより、フォトレジスト処理において優れた品質と最大限の効率を提供できます。このユニットには、複数の製造ライン用の完全に統合されたMPW（マルチプロジェクトウェーハ）プラットフォームを含むすべての必要なコンポーネントが装備されています。直径25mm、厚さ6mmまでのウエハ加工が可能です。このマシンはまた、ウェーハにフォトレジストを正確かつ均一に適用するためのスピンおよびスプレーオプションを含めるように構成されています。このツールは、新しい改良されたユーザーインターフェイスを備えているように設計されており、いくつかのユーザーフレンドリーなディスプレイにより、簡単なナビゲーションと効率的な使用が可能です。高度なソフトウェアを搭載し、診断、監視、制御機能を強化し、ユーザーは資産内のプロセスパラメータを自律的に監視できます。モデル機能の自動基板認識と自動制御も利用可能で、監視を最小限に抑えてプロセスを迅速かつ正確に設定および実行できます。さらに、SEMITOOL Siriusは安全性を念頭に置いて設計されており、自動換気、インターロック、空気乱流センサーなどの安全機能が組み込まれており、適切かつ安全な動作を保証するように設計されています。装置はまたシステムの速く、有効な維持そしてサポートを保障するために売り上げ後のサービスの広範囲のパッケージと来ます。Siriusのフォトレジストの単位は専門の実験室および社内電子工学の製作にとって理想的であり、高度の特徴は最高効率のフォトレジストの処理の良質を保障します。ユーザーフレンドリーな設計と高度な技術により、このマシンは真に高度なフォトレジスト処理のベンチマークを設定します。