中古 SEMITOOL Sirius #293671310 を販売中

SEMITOOL Sirius Photoresist Processing Equipmentは、マイクロエレクトロニクスデバイス製造のためのフォトレジスト処理を最適化するために設計された信頼性の高い効率的なプラットフォームです。Siriusは、特許技術を使用して、サイクルごとに正確な処理結果を提供するユニークで革新的なデザインを取り入れています。このスタンドアロンまたは統合されたモジュラープラットフォームには、2つの独立したトラックモジュール、さまざまなプロセス容器に対応するオープンフレーム設計のモジュール、およびさまざまな独立したプロセスモジュールを備えた効率的な統合プラットフォームが含まれています。SEMITOOL Sirius Platformには、Developer ModuleとStripper Moduleという2つの主要モジュールがあります。開発者モジュールは、スピンコーティング露出フォトレジスト層、開発フォトレジスト、プレパルス露出などのプロセスで構成されています。ストリッパーモジュールは、ウェットストリッピング、ドライストリッピング、アッシングなどのプロセスで構成されています。このモジュールは手動および自動化されたプロセス制御システムを備えており、オペレータはプロセスパラメータを監視し、レポートを生成することができます。このモジュールには、化学的暴露の危険から保護するための安全機能も装備されています。Sirius Photoresist Processing Systemは、高精度のプロセス結果と優れた精度を提供します。このユニットは、粒子の汚染を最小限に抑え、プロセスチャンバー内の熱交換を防止するデュアルルーフ設計で構築されています。プロセス温度は20-70°Cの間で調節することができ機械は+/-0。5棒の内で正確にプロセス圧力を制御することができます。SEMITOOL Siriusはまた、レイヤー材料やアプリケーションに関係なく最適な結果を保証するためにプロセスレシピのカスタマイズを可能にします。また、アッシング、エッチング、プラズマ露出、開発後の除去など、さまざまな後処理技術の統合も可能です。Siriusは、フォトレジスト加工のプロセス効率と品質保証の両方を提供するように設計されています。デュアルルーフ設計、統合された安全機能、レシピのカスタマイズ機能、プロセスパラメータの操作はすべて、フォトレジスト処理のための信頼性と費用対効果の高いプラットフォームです。