中古 SEMITOOL Sirius #293671306 を販売中

SEMITOOL Siriusは、フォトレジスト処理の精度と効率を向上させるために設計された包括的なフォトレジスト機器です。このシステムは、半導体業界のカスタムフォトレジストのニーズを満たすように設計されています。このユニットは、最大4つの材料を分離し、個々のプロセス要件に合わせて柔軟性を提供するクローズドマシンで効率的なレジストの開発、処理、配送を可能にします。このツールは、ほぼすべてのフォトリソグラフィックアプリケーション用に手動または自動化されたセットアップで利用できます。アセットは、Siriusプロセッサ、SEMITOOL Sirius Spinner、 Sirius Chamberの3つの主要コンポーネントで構成されています。SEMITOOL Sirius Processorは、最大4つのレシピを同時に使用して、ウェーハおよび/または基板をフォトレジストで分配して正確にコーティングする自動化された手順です。この高速ロータリーモデルは、最終製品の品質と精度を確保するために必要な、フォトレジストを適用し、均等にウェーハに広げることを保証します。一方、Sirius Spinnerは、4段階の噴霧サイクルを通じて最大72個のウェーハを駆動する多段ブラッシングユニットです。ステージバリエーションジェットは、必要なリソグラフィー層を作成するために、ウェーハからフォトレジストをきれいにして除去します。SEMITOOL Sirius Chamberは、フォトレジストを適用するための最適な硬化条件を提供する特別に設計された原子炉室であり、半導体産業アプリケーションの厳しい動作パラメータ内でレジストが付着し安定していることを確認します。Siriusフォトレジスト装置は、手動または自動生産のフォトレジスト処理に関連するコストと時間を削減するように設計されています。このシステムは、高性能要件の製品に必要な優れた再現性、精度、信頼性を提供します。SEMITOOL Siriusユニットは、フットプリントも小さく、使いやすく、メンテナンスも簡単です。シリウスマシンによる精密フォトレジスト加工は、薄膜トランジスタ、高電圧ラピッドスイッチング、一体型パッシブおよびアクティブコンポーネントなど、幅広い半導体アプリケーションに適しています。SEMITOOL Siriusフォトレジストツールは、特定のフォトリソグラフィーが必要とするものが何であれ、幅広い用途において信頼性が高く再現性の高いフォトレジスト処理を提供するように設計されています。