中古 SEMITOOL Sirius #293671304 を販売中

SEMITOOL Siriusは、最先端のマイクロエレクトロニクス部品の製造に使用される重要なフォトリソグラフィープロセス用に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、オートエクスポーズ（AE）、オートデベロップメント（AD）ステーション、フォトレジストストリップ（PS）ステーションなどのプロセススイートを備えています。AEステーションはフォトリソグラフィープロセスにおいて重要な役割を果たします。フォトレジスト（樹脂）のコーティングがシリコンウェーハやその他の材料基板に適用され、可視光にさらされます。AEステーションは、フォトレジストを最小限の歪みとウェーハリーンで強烈な照明レベルでも正確に露出するように設計されています。ADステーションは、露出したフォトレジストを自動的に開発し、照射されたコンポーネントを除去し、基板に回路パターンをエッチングします。手動処理とは異なり、ADステーションは安全性と効率性を向上させ、非常に正確な結果を提供するように設計されています。最後に、PSステーションは残りのフォトレジストを基板から取り除き、エッチング回路パターンを残します。このステップは滑らかな終わりを提供し、さらなる処理のための基質を解放します。Siriusは、コスト削減を最適化しながら、迅速なサイクルタイムで生産効率を向上させるように設計されています。また、直感的な制御と自動化されたオペレーティングマシンを提供することで、ユニット操作を簡素化します。さらにカスタマイズするために、ユーザーはサードパーティ製のソフトウェアをカスタマイズしたフォトリソグラフィーソリューションのツールに統合できます。フォトリソグラフィープロセス中の結果の均一性と品質を確保するために、SEMITOOL Siriusには多くの高度な機能が装備されています。これには、基板表面の不規則性を検出および補償するためのオートフォーカス機能、イメージング結果を最適化するための自動校正ツール、およびフォトレジストの処理を合理化するためのその他の頻繁に使用される機能が含まれます。安全性を高めるために、このアセットには緊急停止機能も含まれており、モデルを迅速に停止し、オペレータのエラーによる潜在的な危険を軽減するために使用できます。Siriusは、製造プロセスに最新かつ最も正確なフォトリソグラフィーツールを必要とするメーカーにとって理想的な選択肢です。堅牢な設計とオートメーション機能により、ダウンタイムを最小限に抑え、正確で均一な処理を実現します。