中古 SEMITOOL Sirius #293622591 を販売中
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ID: 293622591
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
System, 12"
Rotor, 8"
Stainless steel 316
Process: Spray ozone
Ammonia process modules
ASTEX AX8400 Ozone generator system
BMT 930 Ozone monitor
Ammonia tank
Mix control
Standard pneumatic panel
DI Panel
O2 Panel
NH4OH Panel
Motor
Control
TREBOR Quantum 30 Hot DI system
Voltage: 380 VAC, 45 Amp
Power supply: 50/60 Hz, 208 VAC
Full load current: 45 AMP
Largest motor or load :20 Amp
2008 vintage.
SEMITOOL Siriusは、SEMITOOLによって製造された完全に自動化されたフォトレジスト機器です。半導体業界の高度なフォトリソグラフィ用途向けに開発されています。レーザースキャンや非接触レジストストリップ、自動化されたウェハハンドリングと処理、シンプルなユーザーインターフェイスなどの高性能な機能を提供します。Siriusユニットは、最高レベルのウェーハ表面前処理を実現するように設計されています。フォトレジストを基板表面に正確に堆積させ、マイクロリソグラフィ加工に適した表面均一性を維持します。マシンは、単一のチャンバ、プロセッサヘッド、およびDC電源で構成されています。処理ヘッドには、蒸着前にウェーハ表面にフォトレジストを供給するダイジェットが装備されています。ダイジェットツールはマニピュレーターに取り付けられ、プログラムされた指示に従ってウェーハの表面をパターン化するようにプログラムされています。SEMITOOL Siriusは、マイクロリソグラフィープロセスの精度と信頼性の高い性能を保証するために、統合された自動矯正技術を備えています。ウェーハ表面との関係でスキャナーヘッドの角度とアライメントを正確に調整するレーザー誘導スキャンアセットを使用しています。Siriusはまた、非接触レジストストリップ機能を提供しています。これにより、ストリッププロセスの制御が大幅に向上し、手動での処理が不要になります。SEMITOOL Siriusモデルはユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、標準ソフトウェアパッケージと完全に互換性があります。それは設計でモジュール式であり、必要なときに追加の機能と部品でアップグレードすることができます。セルフテスト機能と診断システムを備え、信頼性の高いフォトレジスト沈着を保証します。Siriusユニットは、高度なフォトリソグラフィ用途に最適で、高解像度とプロセス精度と再現性を提供します。この機械は信頼性が高く、効率的で費用対効果が高く、半導体業界の用途に最適です。
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