中古 SEMITOOL Sirius #293590463 を販売中

SEMITOOL Siriusは、SEMITOOL株式会社が製造する次世代フォトレジストシステムです。これは、高品質のフォトリソグラフィック生産のために設計された完全自動化された単一基板フォトレジストシステムです。シリウスは、電動レジストデリバリーアーム、統合基板ハンドリングロボット、高度なスプレーディスペンスヘッド、および大型ユーザーフレンドリーなコントロールパネルの4つの主要コンポーネントで構成されています。SEMITOOL Siriusは、片面と両面のウェーハ基板、フランジスタイル基板の両方を処理できます。電動レジストデリバリーアームは、基板上のフォトレジストの配達を支援します。ロボットアームは、精度を確保するために調整可能なアーム速度で、正確かつ均一な配信を確保するのに役立ちます。統合されたロボットは、基板の取り扱いに役立ち、基板トレイの自動ロードとアンロードを可能にします。それはまた自動ナイフの位置および持ち上がることを可能にしますフォトレジストが正しく方向づけられ、基質にきちんと置かれるように。高度なスプレーディスペンスヘッドは、正確かつフォトレジストの分布を可能にします。ノズルの設計と操作は、プロセス中にこぼれたフォトレジストの量を減らすのにも役立ちます。ヘッドは、基板に堆積したフォトレジストの量と方向を正確に制御することができます。ユーザーフレンドリーなコントロールパネルは操作が簡単で、ユーザーはプロセスをすばやくプログラムして監視することができます。コントロールパネルは自動/手動操作用に設計されており、ユーザーに画面上のグラフ表示とスケーリング、アラーム表示、および完全に自動化されたプロセス制御機能へのアクセスを提供します。最終的に、Siriusは、最も効率的な方法で高品質のフォトリソグラフィック生産をメーカーに提供するように設計された強力で信頼性の高いフォトレジストシステムです。統合されたロボットとディスペンスヘッドは、基板上にフォトレジストを一貫して正確に配送することを保証し、コントロールパネルはプロセスの簡単かつ迅速なプログラミングと監視を可能にします。SEMITOOL Siriusは、メーカーにとって信頼性が高く費用対効果の高いフォトレジストソリューションです。