中古 SEMITOOL Semitool 860 #9124362 を販売中

SEMITOOL Semitool 860は、ユーザーが簡単に高度なフォトレジストパターンを作成できるように設計された専用フォトレジスト機器です。これは、製造のための電子機器を製造し、最適化するためのプラットフォームを提供するために一緒に組み込まれているいくつかのコンポーネントで構成されています。Semitool 860の主なコンポーネントは、独自のOpto-electronic Scanner （OE-1）です。このスキャナは、ユーザー定義のフォトレジストパターンを高精度かつ一貫性でスキャンするようにプログラムされ、最適化されています。フォトレジスト材料に必要なUVパターンを作成するために使用されるものと、目的のパターンを作成するために個々のレーザーパルスの制御を作成するために使用されるものの2つのレーザビームを含む高度な光学系を採用しています。レーザーパルスは、異なるフォトレジストタイプに対して微調整することができます。SEMITOOL Semitool 860の露出テーブルは、露出プロセス中に高い均一性と最小限の歪みを保証するように設計されています。そのエアベアリングシステムは、フォトレジストパターンがUVソースに正確に露出されていることを確認し、明確に定義された露出をもたらします。さらに、このテーブルはユーザー制御、サグなし、ストレスの少ないアライメントプロセスを可能にし、デジタル制御ガントリーは正確なパターンサイズ制御を提供します。Semitool 860には、フォトレジストパターンとプロセスを最適化するために使用できる一連の高度なソフトウェアツールも装備されています。これには、標準形状をインポートできるCADライブラリと、フォトレジストパターンの形状を認識できるパターン認識アルゴリズムが含まれます。また、露出プロセスを対話的に制御することができ、光学ユニットの設定を調整することができ、ソフトウェアは幾何学的領域、ピーク強度、表面粗さなどの幅広い指標を提供します。さらに、マシンにはベースステーションが含まれており、最高品質の生産を維持するためにいくつかのプログラム可能な安全性とオートメーション設定を提供します。これには、UV露出レベルのリアルタイム監視、基板温度制御、および自動ウェーハ処理が含まれます。ステーションはまた、最適なフォトレジストパターンの生産を確保するために、プロセス中にレーザー出力を監視および調整するために使用することができます。SEMITOOL Semitool 860は、効率的で高度なフォトレジストパターン作成プロセスを提供する強力でユーザーフレンドリーなツールです。その最先端のコンポーネントとソフトウェアは、高精度と信頼性を確保し、機能と機能の配列で、ユーザーは簡単に最も複雑なフォトレジストパターンを作成することができます。