中古 SEMITOOL SDC-400 #68685 を販売中

SEMITOOL SDC-400は、ウェーハ上のICをパターン化する半導体製造に使用されるフォトレジスト機器です。本質的には、フォトレジストを配布、処理、検査できる一連の統合モジュールであり、高いスループットと非常に高い収率でシームレスなプロセスフローを可能にします。このシステムは、さまざまなフォトレジストや基板材料で動作するように設計されており、ユーザーは希望する結果に合わせてプロセスパラメータを柔軟にカスタマイズできます。SDC-400は革新的なモジュラーボード技術を使用しており、異なるプロセス間の切り替え時に効率的なプロセスフローと迅速なチェンジオーバーを可能にします。この技術により、複数のプロセスを同時に実行することができ、サイクルタイムを大幅に短縮し、歩留まりを向上させます。ウェーハハンドリングモジュールを内蔵しており、ローディングステーションからウェーハを取り出し、処理段階に移してから、荷降ろし用のコンテナに堆積します。これにより、プロセス間の迅速かつ効率的な転送が可能になります。このマシンには、フォトレジストの最適なスピンコーティングを確実にするために慎重に校正された温度と時間を使用する赤外線プレベークモジュールも含まれています。次に、ウルトラバイオレットランプと露出したフォトレジストをウェーハ上にフラッシュ開発する乾燥ゾーンで構成される主要なフォトレジストチャンバーが続きます。ここでICのパターン化が行われます。最後に、ポストベークモジュールはポストベークシーケンスを実行して残留フォトレジストを除去し、その後、ウェーハはアンロードされ、検査の準備が整います。また、最高レベルの品質管理を確実に維持するために、ビジョン欠陥マッピングツールもアセットに含まれています。このモデルは、独自のアルゴリズムを使用して、あらゆる欠陥を特定、定量化、マッピングし、最高品質のウェーハだけが顧客の手に届くようにします。結論として、SEMITOOL SDC-400は、パターン解析と欠陥解析の最新技術を活用した先進的なフォトレジスト機器であり、半導体製造用途に最適です。その高いスループット、柔軟な設計、欠陥を正確に検査する能力により、あらゆる生産ラインに最適です。