中古 SEMITOOL SD 101 #9185181 を販売中

SEMITOOL SD 101は、さまざまなウェーハ処理アプリケーションで効果的で信頼性の高い結果を提供するように設計されたフォトレジスト機器です。この自動ウェーハ処理システムは、精密フォトリソグラフィ、スピンコーティング、プレクリーニングなどのさまざまな技術を使用して、フォトレジスト、エッチング、またはクリーンレジストをウェーハにバッチで適用します。太陽光発電、デジタル集積回路、薄膜ヘッド、MEMS分野の半導体部品メーカーに最適です。SD 101は、ダウンタイムを最小限に抑え、サービスを簡素化する柔軟な分割モジュール設計を備えています。それは高性能、信頼性および険しい現代構造を提供する統合された設計の習慣、ステンレス鋼、陽極酸化されたアルミニウムキャビネットで囲まれます。このユニットには、回転式スピンコーター、プレクリーニングおよびエッチング用の液体化学薬品用タンク、およびレジストを治すためのベークオーブンが含まれています。また、マシンのさまざまな機能を制御するためのプログラマブルコントローラとグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。このツールは、ウェーハサイズの広い範囲を処理することができます。ユーザーフレンドリーで自動化されたメニュー駆動制御アセットで、メンテナンスと使用が簡単にできるように設計されています。このモデルには、緊急停止ボタン、Eストップ、過負荷保護などの幅広い安全機能が装備されています。この装置は、最大直径6インチのウェーハに、フォトレジストを正確かつ迅速に適用できるように設計されています。統合された動的圧力制御システムを使用して、一貫した厚さと完全に均一なレジストプロファイルを保証します。ウエハの種類や用途ごとに最適なレジストプロファイルを実現します。SEMITOOL SD 101は、太陽光発電コンポーネント、デジタル集積回路デバイス、薄膜ヘッドなどを製造するための完全なソリューションを提供します。それはあらゆる製造環境に適しているよく設計された、信頼できる用具です。