中古 SEMITOOL Scepter #293831473 を販売中

SEMITOOL Scepterは、半導体業界の用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、紫外線（UV）に抵抗する材料であるフォトレジストの薄膜の堆積に使用されます。これは、ハイスループットのウェットX線または電子ビーム直接書き込みアプリケーション用に設計されたアドバンスユニットです。Scepterは、熱安定性、均一性、および粒子制御に焦点を当て、最高品質の材料で設計されています。これには3つのタンクが加熱され、それぞれ独立した温度制御が施されているため、原子炉の温度を密接に監視および制御することができます。SEMITOOLのセプターはまたガス抜きを減らし、均等性を促進できる真空機械を特色にします。Scepterの利点は、高速ポンプサイクル時間、調整可能なトラックゲージ、ウェーハエッジに沿って均一性を促進する再循環リフトキット、エッジ整合性を向上させるための蓋ツール、および8レベルのデジタル電源制御などのユニークな機能から得られます。SEMITOOL Scepterは、堆積層の品質を向上させ、最大15ミクロン/秒の堆積率と6インチウェーハ全体の+/-4ミクロンの均一性を可能にします。さらに、従来のフォトマスクで動作し、最大0。6ミクロンの分解能を持ち、0。5〜2。0ミクロンの厚さのフォトレジスト層を生成します。このアセットはステンレス製の部品でも製造されているため、さまざまなフォトレジスト材料の使用に最適です。Scepterは世界中の多くの主要なファブで使用されており、フォトレジストのパフォーマンスのための新しい標準を設定しています。これは、均一性と沈着率の優れた一貫性を提供します、だけでなく、さまざまなマスクを操作する能力。このモデルはまた、高速サイクルタイムとメンテナンスのための容易なアクセスを提供し、それは多くの異なるタイプのフォトレジスト蒸着プロセスのための理想的な選択肢となります。