中古 SEMITOOL Scepter SST #9212639 を販売中

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製造業者
SEMITOOL
モデル
Scepter SST
ID: 9212639
ヴィンテージ: 2007
System 2007 vintage.
SEMITOOL Scepter SSTは、半導体業界の厳しい要求に応えるために設計された最先端のフォトレジスト加工装置です。これは完全に自動化されたシステムで、フォトレジストを1つのパスで分配、露出、処理することができます。Scepter SSTは連続的に実行され、露出からエッチングまでウェーハを次々と処理することを意味します。SEMITOOL Scepter SSTは、エッチング、チャネル狭いスラッシング、浅いトレンチ分離、およびその他のフォトリソグラフィックプロセスを介して、バックドレインクリーニングでの使用に最適です。フォトレジストを精度と精度で分配することができるいくつかの独立したディスペンサーが装備されています。フォトレジスト露光ユニットは高精度であり、2mJ/cm2から150mJ/cm2まで幅広い用量で様々なフォトレジストを露出することができます。Scepter SSTはまた、負のフォトレジストの処理を提供し、従来のマニュアル技術よりもはるかに詳細な非常に正確な処理を可能にします。また、ウェーハローディングとアンロードの心配のない自動リバースアライメント、正確な処理のためのアダプティブ可変速度インデックスを備えています。最後に、SEMITOOL Scepter SSTは安全性を念頭に置いて設計されています。シャットオフスイッチや透明な安全シールドなど、多くの安全機能を備えています。それはまたすべての適当なNFPA、 UL、 CSAおよびセリウムの標準に迎合的です。全体として、Scepter SSTは強力で汎用性の高いフォトレジスト加工機であり、今日の要求の厳しい半導体産業に最適です。精度と精度でフォトレジストを分配して露出することができ、オペレータの安全性を確保するために多くの安全機能を備えています。最終的に、SEMITOOL Scepter SSTは、ハイテク製造環境に最適です。
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