中古 SEMITOOL Scepter SST-421 #9229859 を販売中

SEMITOOL Scepter SST-421は、フォトニクスデバイスの高度なIC処理およびプロトタイピングに使用するために設計されたフォトレジスト機器です。これは、標準回転トラックシステムの使いやすいプラットフォームで利用可能な最高解像度を達成するように設計されています。SEMITOOL Zeus Vision Toolソフトウェアと連携して、レジスト蒸着プロセスを正確に制御する高度なレジストスピンとスプレーマシンを備えた自動ユニットです。Zeus Visionツールは、レジストアプリケーションを設定、監視、管理するための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。このソフトウェアを使用すると、スピン速度、スプレー圧力、温度、チャンバー環境などの重要な処理ステップに正確なパラメータを設定できます。Scepter SST-421は、レジストの厚さ、均一性、エッジプロファイル、およびレジストの流れの均一性を、レジストが回転した時からレジストが硬化した時まで正確に制御します。これにより、フォトレジストが可能な限り最高解像度で適用され、ウェーハ全体の厚さのばらつきが最小限に抑えられます。このツールは高度にモジュール化されており、さまざまなプロセスチャンバーとウェーハサイズに対応しています。これにより、ユーザーはウェーハクリーン、エッチング、およびストリップ操作に抵抗することができます。ロボットハンドルのアセットがモデルの背面に組み込まれているため、プロセスステーションを簡単に変更することができます。SEMITOOL Scepter SST-421は信頼性と精度を最大限に高めるために設計されており、ユーザーはレジスト組成、ポリマー、溶剤を操作して、解像度とプロセスの歩留まりを最大限に高めることができます。すべての重要な部品は耐食性材料で構成されており、化学物質の適切な封じ込めを可能にし、プロセスチャンバーやウェーハの汚染を防ぎます。装置はSEMITOOLのテストおよび品質および性能のための品質管理のチームによって点検され、確認されました。