中古 SEMITOOL Scepter SAT 422 (25 04) 0 #9379203 を販売中
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SEMITOOL Scepter SAT 422(25 04)0は、ウェーハや基板にさまざまな材料を正確に堆積させるために設計された先進的なフォトレジスト装置です。高度なフォトレジスト技術と高度なモーションコントロールソフトウェアを組み合わせて、薄膜をウェーハ表面に正確に堆積させます。ウェーハ表面に蒸着マスクを正確に配置するための高解像度水晶光投影ユニットを装備しています。光学機械は高精度の光学、調節可能な対照および明るさおよび改善された均一性のための水晶水晶短波紫外線ランプを特色にします。このツールは、ウェーハの両側に正確な堆積を確保するために、アライメントを微調整することができます。この蒸着プロセスは、抵抗コーティングと短波UVランプを使用して行われます。実験室内で発生し、ウェーハに塗布された抵抗コーティングは絶縁体として機能し、ウェーハに電流が流れるのを防ぎます。ウエハーと抵抗コーティングに焦点を当てたUVランプは、抵抗コーティングを破壊し、電流がウエハーに流れるようにします。このプロセスは、光抵抗膜として知られていますが、基板に薄膜を堆積させるための迅速かつ正確な方法です。アセットのモーションコントロールソフトウェアは、1回のセッションで複数の薄膜を高速かつ正確に蒸着できるように設計されています。ソフトウェアを使用すると、オペレータはプラテン全体をスキャンしたり、複数の薄膜を堆積させるための領域を選択したりできます。その後、複数の堆積部位を選択し、それに応じて対応する抵抗を調整することができます。抵抗が適切に設定されたら、沈殿を開始することができます。フォトレジストモデルは、クリーンルーム、実験室、生産環境など、さまざまな環境で動作するように設計されています。この装置には、堆積プロセス中に発生したエラーを検出および分析できる内蔵の診断システムも装備されています。このユニットは、オペレータと機器の両方の安全性を確保するために、内蔵の安全インターロックを備えています。結論として、SEMITOOL Scepter SAT 422(25 04)0は、ウェーハや基板への薄膜の正確で信頼性の高い堆積を提供するように設計された先進的なフォトレジスト機械です。このツールは、高解像度の水晶光学投影、調整可能なコントラストと明るさ、および改善された均一性のための水晶水晶短波UVランプを備えています。モーションコントロールソフトウェアは、複数の堆積部位を簡単に選択でき、各部位の抵抗を調整するために使用できます。アセットは、さまざまな環境で動作するように設計されており、オペレータや機器を保護するための内蔵の安全インターロックが付属しています。
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