中古 SEMITOOL SAT1080SOA1PCAU #9120981 を販売中

SEMITOOL SAT1080SOA1PCAUは、高度なリソグラフィープロセスの要件を満たすように設計されたフルオートマチックフォトレジストスピンおよびスプレーコーティング装置です。このシステムは、最適な材料使用率と優れた基材性能を確保するために、スピン速度、停滞時間、スプレー時間、スプレー量、および基板温度の精密自動制御を提供します。このユニットは、直径4〜12インチの基板にコーティングするためのさまざまなフォトレジストを正確に測定することができます。360回転ステージと連動したダイナミックな真空プロセスにより、スプレー中に基板を完全に静止させることができます。機械はサイクル間の基質に残余が残らないことを保障する自動クリーニング機能が装備されています。このツールは、独自の可変速度AC同期モータを備えています。モーターは可変設定を備えたデジタル制御によって制御され、ユーザーは500から4500 rpmまでのスピン速度、および1から4秒までの可変スピン時間を設定できます。これにより、基板に適用されるレジストのスピン速度と量を正確に制御することができます。内蔵のスプレーメカニズムは、毎分6ミリリットル（ml）までのさまざまなフォトレジストを提供することができ、高度なリソグラフィープロセスに必要な高スループットを達成することができます。このアセットはまた、噴霧プロセス中に基板の均一な加熱を提供する、独自の温度制御機能を備えています。これにより、材料の矛盾を引き起こす可能性のある温度差がなくなり、プロセス温度が高すぎます。このモデルには、スプレーサイクルレート、スピン速度、スプレー時間、スプレー量、基板温度などの設定をカスタマイズできる包括的なソフトウェアパッケージが付属しています。これらの設定は、必要に応じてファイルに保存してリコールすることができます。この機器には、プロセスステータスを示すグラフィカルディスプレイと、メンテナンス用のエラーコードも含まれています。優れた性能のために、SAT1080SOA1PCAUは精密で信頼性の高いフォトレジストスピンとスプレーコーティングを必要とするリソグラフィーラボに最適です。このシステムは、堅牢な機能セット、優れた精度、簡単な操作を提供し、ユーザーは独自のニーズに応じてプロセスを最適化し、最適な材料使用量と優れた基板性能を確保することができます。