中古 SEMITOOL SAT #9314457 を販売中

SEMITOOL SATは、半導体材料および集積回路の自動シングルウェハウェット処理用に開発されたフォトレジスト機器です。このシステムにより、水系または溶剤系の化学薬品でウェーハを手動で処理する必要がなくなり、スループットが向上し、作業時間が短縮されます。SAT単位は3つの主要な部品から成っています：プロセス部屋、フォトレジストのメカニズムおよび化学配達機械。プロセスチャンバーは、熱および湿度が調節される制御された環境を維持するように設計されています。これにより、プロセスが一貫して再現可能であることが保証されます。チャンバーを開閉することで、ウェハの積み降ろしが容易になります。フォトレジストメカニズムは、望ましい機能を作成するために、紫外線レーザーにウェーハを公開する責任があります。露出は、最高品質の結果を確実にするために微調整され、処理されたウェーハごとに再現性と優れた結果を保証します。ケミカルデリバリーツールは、SEMITOOL SAT資産全体に必要な化学物質および溶媒を提供する責任を負います。ウェーハを正しい順序で、正しい温度と組成で処理するように設計されており、望ましい結果を確実に満たしています。幅広い化学薬品や溶剤をスプレーして洗い流すことができ、さまざまな加工に対応できます。高品質の結果を提供することに加えて、SAT機器はユーザーの介入を最小限に抑える必要があります。高度に自動化されており、迅速なセットアップと操作が可能です。これにより、メンテナンス、修理、再調整のためのダウンタイムが短縮され、ウェーハロットを処理するための費用対効果の高いソリューションとなります。さらに、システムは他の生産設備と統合することができ、合理化され、自動化された処理を可能にします。SEMITOOL SATユニットを使用することで、製造メーカーはウェーハ処理から優れた一貫した結果を得ることができます。そのコンパクトな設計、自動化された操作、および低い維持の条件はそれにぬれた化学プロセスのための信頼できる選択をします。全体として、SAT機械は半導体加工のための信頼でき、有効で、経済的な選択です。