中古 SEMITOOL SAT #9300421 を販売中

SEMITOOL SATは半導体産業で使用するために設計されたフォトレジストコーティング装置です。システムは、SATユニットとSMPユニットの2つのコンポーネントで構成されています。SEMITOOL SATユニットは、ユニットの本体であり、フォトレジスト材料の適用と除去を担当しています。本体とサプライアームの2つのパーツで構成されています。本体には、スプレーガン、温度および圧力センサー、エアモジュールなどのフォトレジストの適用および除去に必要なコンポーネントが収容されています。サプライアームには、2つの主要な貯蔵タンクに含まれているフォトレジスト材料が含まれています。フォトレジスト素材は、回転ノズルと薄膜ヘッドを使用してウェハに供給されます。機械の第2の部品はコーティングの間にフォトレジスト材料を管理するのを助けるように設計されているSMPの単位です。このユニットは、8レベルの流体貯蔵タンク、材料予熱器、吸引および加圧モジュール、および再循環ポンプの4つの部分で構成されています。8レベルのタンクは、フォトレジスト材料を管理するのに役立ち、最大8種類のフォトレジスト材料を格納するために使用することができます。材料プリヒーターは、フォトレジスト材料の温度を上げるために使用され、コーティング中にフォトレジスト材料の適切な接着と硬化を保証します。吸引および加圧モジュールは正しいコーティング圧力を保障する貯蔵タンクの中のフォトレジスト材料の吸引そして加圧を提供します。最後に、再循環ポンプは、フォトレジスト材料を所望の温度と濃度で貯蔵タンクに保管するのに役立ちます。全体として、SATは半導体業界で使用するために特別に設計された強力で効率的なフォトレジストコーティングツールです。SEMITOOL SAT UnitとSMP Unitを組み合わせることで、フォトレジスト素材を正確かつ一貫してウェーハに適用することができ、高品質な結果が得られます。さらに、このモデルは信頼性が高く、操作が容易であるため、大量の半導体生産環境に最適です。