中古 SEMITOOL SAT #293671300 を販売中

SEMITOOL SATは、高精度シオンリソグラフィ加工用に設計されたフォトレジスト機器です。これは、複雑なマイクロエレクトロニクスデバイス製造のための半導体ウェーハ上の小さな回路や複雑なパターンを作成するために使用されます。このシステムは、ウェーハ上のフォトレジスト層を露出させるための可変波長励起源を備えたライトステッパーで構成され、その後の開発にも使用されます。SATユニットには、高解像度のプロジェクションレンズと自動サンプルローディングおよびアライメントガイダンス機構が装備されており、高いスループットプロセスの流れを可能にし、極めて精度の高いパターンを保証します。この機械は、陽性および負のフォトレジスト沈着、サセプタプリベーク、露光光および光強度、パターン検査、焦点調整、開発、ポストベーク、検査、パターン高さ測定などのさまざまなフォトレジストプロセスに影響を与えることができます。SEMITOOL SATツールは、単純な円から非常に複雑な幾何学模様まで、幅広い複雑な形状にわたるフォトレジスト層を露出することができます。これは、アセットの自動パターン配置エンジンがこれらのパターンをウェーハ上に正確に配置できるためです。このモデルは、フォトレジスト層で最適化されたカバレッジを確保するために、複数の照明角度を使用します。また、高解像度イメージングは、パターン配置精度をさらにサポートする光学系によっても提供されています。さらに、SATはウェーハレベルに包括的な測定技術を組み込み、さらにユーザーがイメージング機能をカスタマイズできるため、特定の製造ニーズに対応するために必要なパターンサイズ、アライメントパラメータ、その他のバリエーションを自由に選択できます。さらに、SEMITOOL SATはまた、正確な温度制御を可能にし、不完全な結果の可能性を減らします。これはまた部品損傷のチャンスを減らすのを助けます。SATは、パターニング結果の信頼性と精度を向上させるために設計されたさまざまな機能を提供します。これらには、焦点とアライメントを確保するための高解像度カメラ、可変照明露光用の調整可能なレーザーソース、および露光均一性を最大化する高精度の光学システムが含まれます。さらに、直感的でユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスにより、プロセスレシピを素早く設定することができます。全体として、SEMITOOL SATマシンは、高性能で正確で信頼性の高いウェーハパターニングソリューションを提供し、半導体デバイスの製造を強化します。その幅広いプロセス能力、調節可能な照明設定、および高解像度イメージングにより、あらゆる生産ラインに大きな資産を提供しています。