中古 SEMITOOL SAT #293671298 を販売中

SEMITOOL SATは、半導体および太陽電池デバイスの製造に使用されるフォトレジスト自動トラック装置です。SATは、フォトレジスト、アンダーブランケット、および写真撮影可能なキャップの信頼性、再現性、効率的な処理のために設計されています。SEMITOOL SATは、優れた品質と一貫性を備えた半導体基板のプリッピング、イメージング、開発、検査のための汎用性の高いプラットフォームを提供しています。このシステムは、2"、2。5"、4"、6"から8"までの基板を扱うことができ、多くの構成に対応しています。マスクアライナー、オーブン、コンベア、ロボット、クリーニングステーションなど、いくつかのモジュールで構成されています。マスクアライナーは、フォトマスクを基板に正確に配置するために使用されます。レーザーオートフォーカスユニットと高解像度イメージングマシンを搭載し、フォトマスクの正確な位置決めを実現しています。オーブンは、ベーキングやレジスト材料を硬化するために使用されます。このツールは、温度と気流の両方を制御することができ、さまざまなサイクル時間に設定することができます。コンベアモジュールは、複数の選別機とコンベアで構成され、ウェハをイメージングおよび開発システムに転送するために使用されます。ロボットは、コンベアに沿ってウェハを転送するために使用されます。それらが移動するにつれて、基板は欠陥をスキャンされ、クリーニング、イメージング、開発、検査などの一連の手順で処理されます。このアセットは、化学的に増幅された、負のトーン、および正のトーンが抵抗するなど、さまざまなフォトレジストで基板を処理できます。また、透明素材、高解像度レジスト、厚みレジストなど、標準レジストとスペシャリティレジストの両方を取り扱うことができます。このモデルには、フィルムの完全性を検査するための機器も装備されています。この視覚画像検査システムは、プロセスに関するリアルタイムのフィードバックを提供し、生産プロセスの継続的な改善を可能にします。さらに、高速かつ効率的な基板洗浄を可能にする新しい液体洗浄技術を搭載しています。SATマシンは、フォトレジスト処理のための統一されたプラットフォームを提供し、コストを削減し、高品質の結果を保証します。このツールは、正確で高速なイメージング資産と、さまざまなフォトレジスト材料をサポートする汎用性の高いコンベアモデルで構築されています。さらに、統合検査装置は、任意のフィルム欠陥をリアルタイムで識別し、分析することができます。