中古 SEMITOOL SAT 3060 #9314452 を販売中

SEMITOOL SAT 3060フォトレジスト装置は、フォトレジスト開発の厳しい要件を満たすように設計された汎用性と信頼性の高いハードウェアです。このシステムは、300 kgまでのコンポーネントをサポートすることができる標準的な垂直トラックプラットフォーム上に構築されています。このユニットには、SEMITOOL E550統合されたスピンリンスドライ（SRD）プラットフォームが含まれており、ユーザーはウェットベンチトッププロセスをフォトレジスト開発に統合できます。E550 SRDプラットフォームには、最新世代の再循環のろ過と遠心分離技術が含まれており、ウェットプロセスツールに比類のない性能と寿命を提供します。SRDプラットフォームに加えて、SAT 3060フォトレジストマシンには生産グレードの機能も多数搭載されています。このツールは、最大200mmのウェーハを処理するように設計されており、高度な電子機器製造に使用される硬質で厚いフォトレジストマスクの開発を支援することができます。ウェーハはプログラマブルなマルチゾーンステッピングモータを内蔵し、ダイナミックなスピン速度と加速度を提供し、最適な化学分配を実現します。アセットには、65°Cから190°Cまでの温度にプログラムすることができる4ステーションホットプレートも含まれています。4 Zone Hotplateを使用すると、さまざまな基板リグとアプリケーションのさまざまなレシピを開発でき、複雑な処理要件に最適です。このモデルには付属のシンクも含まれており、フォトレジストを室温に戻すための迅速かつ効果的な方法を提供し、潜在的な汚染を排除します。SEMITOOL SAT 3060フォトレジスト装置は、ユーザーフレンドリーなコントロールパネルにより、簡単なメンテナンスとトラブルシューティングを可能にします。ユーザーフレンドリーなインターフェイスは、プロセスパラメータの簡単なナビゲーションと監視を提供します。また、モジュラー式の安全スイッチシステムを内蔵して設計されており、ダウンタイムを削減し、生産効率を向上させます。全体として、SAT 3060フォトレジストユニットは信頼性が高く効率的なフォトレジスト開発機です。カスタマイズ可能なホットプレート、スピン速度セレクター、および幅広い温度設定により、ハードと厚さの両方のフォトレジストマスクの処理に最適です。さらに、このツールのモジュラー安全システムは、品質と精度を確保するためにプロセスパラメータを監視し、迅速かつ効果的なトラブルシューティングシステムを提供することを保証します。