中古 SEMITOOL SAT 2080S #9210337 を販売中

SEMITOOL SAT 2080Sフォトレジスト装置は、半導体業界で広く使用されている高性能、大容量のリソグラフィーシステムです。このユニットは、最大の収率を提供し、最も困難な仕様と要件を満たすことにより、再現可能なプロセス・フローを可能にします。このマシンは、最先端の2波長スキャンおよびステップアンドリピート露光機能を使用して、先進および将来のトランジスタ技術によって要求される最高の解像度レベルのニーズに対応します。このツールは、775nmの近赤外線（NIR）波長を持つ2波長SpectraBroadband"に基づいており、より小さな構造とより高い解像度を可能にします。また、このアセットには独自の自動露出トンネル（AET）コンセプトがあり、露出サイクルを自動化し、スループット、歩留まり、品質管理の向上を実現します。このモデルには、完全な計測フィードバック、ウェハプロセスの診断と制御、レシピの欠陥特性評価などの統合されたプロセス監視機能も装備されています。これにより、プロセスの理解、ウェハレベルのフォルト検出、パターン関連の欠陥の予測が向上します。また、オプションのデュアルチャンバーエッチモジュールと、プリエッチングおよびポストエッチング処理用の外部チャンバを備え、マルチプロセスおよびマルチプロダクトの柔軟性を提供します。さらに、カセット管理プロセスを自動化し、正確さを保証するNexBar®バーコードリーダーを使用できます。SAT 2080Sフォトレジストシステムは、研究と生産の両方に最適な最先端のツールです。高度な光学、自動化、プロセス監視ツール、歩留まり改善戦略を活用して、より高い歩留まりと再現可能なプロセスフローを実現します。最も要求の厳しい仕様を満たすことができるため、このユニットは今後も業界をリードするソリューションであり続けることができます。